富钛的镍钛形状记忆薄膜的相变行为及影响因素.pdfVIP

维普资讯 第 26卷第 l期 包 钢 科 技 V01．26 No 2000年 3月 Science＆Techno[o~,ofBaotouSted (Group)Corpora~on March，2000 富钛的镍钛形状记忆薄膜的相变行为及影响因 郭 亮 ，漆 璇 l江伯鸿 ，戚震中 ～ ，—— 1 ． (1．包头铜铁 (集团)有限责任岱司冶金研究所，内蒙古 包头 0140]0；2．上海交 通大学材料科学系，上海 200030；3上海交通大学信息存储中心，上海 20(}030)． ，、a f’ - re1 ／’。 摘 要：丰文研究射频碰拉鞋射镶钍形状记忆薄膜柏变行为和性能。 乙 ’ f 在l一定化学成丹下．晶砘坦_^温度对寓蚀薄膜的柏变过程盐锕变温度有诅太影响。富钍薄膜的辐变温度一般较高．马正件相 变温度在室温之上。住l富钛薄膜 中钉可能出现双马氏体峰 。 富钍薄膜在循环或者耐敬时 、相变特性干cl站构显示了良好的稳 定性 研究结军袁Ⅲj，富钍的镩钛 薄膜适当拄制成 和搏址理条什可具有适 当的相变韫 暖和较小滞后井 }1具有良好的形状记忆敬 应_¨1姒得到只发生 R丰H变发逆柑变 富钍薄媵 、其相交温度埔后 只彳f2℃左右，掘适合用米制作微机槭驱动器 关键词 ：镎钍台 胰 ：形壮1忆敬应 ； 化；马氏悻柑壹 中圉分樊号：亿 6【6 文献标识码 ：A 文章编号：1007．8657(2009)01—0062 04 加热速度每分钟 6~C、试样变形采用 弯曲法 ，如图所 l 引言 示；实际弯曲到 140度左右。 镍钛合金薄膜的形状记忆效应是极具有吸引力 的特性。因为通过加热和冷却镍钛合金显示了较大 的变形应力和应变 ，因此可以产生复杂的运动：即 使是块状形状记忆合金，由于冷却速率的局限造成 的响应速率慢的内在缺点也得以很大的改善。因此 镍钛薄膜的发展已受到了广泛的注意。富镍薄膜的 n 研究比较深入 ，但由于富镍薄膜的相变点较低，所以 应用范围不广 ；而且对镍钛薄膜的晶化过程及溅射 条件的研究也显不够 ，因此我们把研究的重点放在 富钛薄膜上 ，结果比较满意。 图I 变形恢复过程角度变化示意图 本文的 目的是对富镍的镍钛薄膜从 改变退火温 度 、时效 、、热循环等热处理：f=艺着手 ，探索镍钛薄膜 形状记 恢复率定义为 ： 特性 ，特别是相变特性改变的各 日索 ，而且进行了模 Ⅵ一(d—d)／a 拟条件下 的实验。本课 题试验 用溅射设备 ANEL． 其中a、o分别指弯曲后残余变形角及加热后未 VA210射频磁控溅射仪 。具体试验方法略： 恢复的角度。 以上的工作为下一步器件的实际开发创造了良 3 实验结果及讨论 好的前提条件 。 3l 成份及晶化退火温度对镍钛薄膜相变温度及 2 镍铁薄膜变形恢复曲线的测定 性能的影响 薄膜夹持在 自制的变形仪上，变形仪放置在装 3．II 晶化退 足温度 的影响 有冰水的容器 内，在冰水中变形后，埘水进行加热， 富钛薄膜相变点采用 自由膜进行 DSC测定 ，以 收稿 日期 ：1