中红外透明导电CuAlO2薄膜的制备及掺杂性能改善研究.pdfVIP

  摘要  作为首个被发现的 p 型半导体，铜铁矿型 CuAlO 薄膜材料在国内外都得到 2 了良好的发展。由于大多数透明导电氧化物薄膜都是在太阳光谱的可见光学范围 内透明，对红外光有很强的反射性。但 p 型的 CuAlO 薄膜则由于较宽的带宽在 2 中红外区域内具有较高的透过率，这就使得在中红外波段对 p 型 CuAlO2 薄膜的 研究更有意义。而且由于 p 型半导体薄膜与 n 型半导体薄膜的导电性能相比相差 很大，不利于应用，所以改善 CuAlO2 薄膜的导电性也尤为重要。本文研究了使 用不同方式制备 CuAlO2 薄膜的晶体结构与光学、电学性能之间的差别。并着重 2+ 3+ 4+ 研究了使用溶胶凝胶法制备 Ca 、Fe 、Ti 离子掺杂对 CuAlO 薄膜性能的改善。