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2017-10-25 发布于北京
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ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究.pdf

43卷第7期人工晶体学报 v01．43No．7 垫!兰生!旦 !Q型型丛Q!翌塑幽鱼垦塑翌垒堕 !坐：垫!兰 ZnO单晶的生长表面形貌及形成机制研究王茂州1”，曾体贤1”，胡永琴1’2，彭丽萍1，王雪敏1，吴卫东1 (1．中国工程物理研究院激光聚变研究中心等离子体物理重点实验室，绵阳621900；2．西华师范大学物理与电子信息学院，南充637009) 摘要：采用石墨辅助化学气相传输法生长了ZnO单晶体。利用XRD、金相显微镜和扫描电镜等对晶体结构和表面形貌进行研究，发现其表面由大量六边形台阶堆垛而成，单个晶粒呈六方伞状结构并始终显露(001)面。同一平面内台阶的大小、陡峭程度存在差异，台阶之间为平行走向。通过形成机制分析，获得生长体系的过饱和度or。，约为 7％，发现生长表面的腐蚀形貌为六边形平底蚀坑，确定在化学气相法中ZnO单晶呈台阶生长的主要条件是螺旋位错。关键词：氧化锌单晶；化学气相法；表面形貌；生长机制中图分类号：0781 文献标识码：A GrowthSurface andFormationMechanismofZnO Morphology SingleCrystals WANG Mao—zhoul”，ZENG咒一xianl”，HUYong．qinl”，PENG Li-pin91，WANG ofScienceand onPlasma CenterofLaser of (1．KeyLaboratory Technology Physics，Research Fusion，ChinaAcademy Physics， Engineering of andElectronic WestNormal Mianyang Information，China 637009，China) 621900，China；2．CollegePhysics University，Nanchong 5March l (Received2014，acceptedApr／／2014) were assistant Abstract：ZnO chemicM method． singlecrystalsgrown bygraphite vaporphasetransport Thestructureandsurface ofZnO were meansof morphologysinglecrystalsanalyzedby diffraction， X—ray and electronic resultsshowthat metallographicmicroscopescanning microscope(SEM)．The cryst