三氯氢硅氢还原培训1.docVIP

吴扎拉森讲授 PAGE  PAGE 10  DATE \@ yyyy-M-d 2017-10-7 309服务理念：“一切为了方便大家学习：！ 还原、氢化培训教材 一、V1500单元（多晶硅沉积单元）的工序划分 TCS蒸发T1200/1201 还原T100/101 钟罩清洗T800/801 硅芯、硅棒化学腐蚀及洗涤T400 废气处理T1000 STC蒸发T1100/1101 氢化T200/201 冷却水单元T901 供电单元 二、主要设备 三氯氢硅（TCS）蒸发器 4个 气体混合器 18个(还原炉)、9个(氢化炉) 还原炉 18台 四氯化硅（STC）蒸发器 4个 氢化炉 9台 三、工艺流程描述 TCS蒸发、还原 1、用屏蔽泵AP200A/B送来的高纯三氯氢硅进入三氯氢硅蒸发器T1200AB001、AB002和T1201AB001、AB002中