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PLD方法制备的超硬非晶碳薄膜研究强激光与粒子束
第 19 卷 第 10 期 强 激 光 与 粒 子 束 Vol . 19 ,No . 10
2007 年 10 月 H I GH PO W ER L A SER AND PA R T ICL E B EA M S Oct . ,2007
文章编号 : 100 14322 (2007)
PLD 方法制备的超硬非晶碳薄膜研究
1 ,2 1 ,2 2 , 3 2 1 ,2
王 锋 , 吴卫东 , 詹勇军 , 李 俊 , 李盛印 ,
2 2 ,4 2 1
曹林洪 , 葛芳芳 , 唐永建 , 孙卫国
( 1. 四川大学 原子与分子物理研究所 , 成都 6 10065 ; 2 . 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心, 四川 绵阳 62 1900 ;
3. 西华师范大学 物理与电子信息学院, 四川 南充 637002 ; 4 . 同济大学 物理系, 上海 200092)
摘 要 : 用脉冲激光沉积在不同条件下制备非晶碳超硬薄膜 ,研究了非晶碳超硬薄膜的表面形貌 、结构 、
应力 、硬度以及能谱等 。原子力显微镜和扫描电镜图像显示 ,薄膜表面平整 、致密且光滑 ,均方根粗糙度最大为
0 . 877 nm 。在高激光重复频率 、高激光通量条件下 ,薄膜有很大的应力 ,致使膜层褶皱甚至破裂 ,小角 X 射线
衍射表明薄膜为非晶态且最大残余应力达 30 GPa 以上 ,但 300 ℃温度的原位退火可以有效降低残余应力 ;纳
米压痕测试表明薄膜硬度大于 20 GPa ,弹性模量大于 200 GPa ; X 射线光电子能谱表明薄膜中 sp 3 的含量在
39 %～53 %之间变化 ,并且与激光通量成正比。
关键词 : 脉冲激光沉积 ; 非晶碳薄膜 ; 硬度 ; 弹性模量
中图分类号 : O484 ; O766 文献标识码 : A
( )
类金刚石 DL C 是一种优良的表面改性材料 ,可用于制备刀具涂层 、高温大功率半导体器件 、高速轴承的
无油磨擦的固体润滑材料 、导弹整流罩 、大功率激光器的窗口、航天材料和光电对抗材料等[ 12 ] 。由于 DL C 的
高硬度和低摩擦系数的性质 ,在武器零部件 、M EM S 器件方面有极广泛的应用 ,并且极大程度的改善武器 、
M EM S 器件的性能和寿命 ;而 DL C 薄膜由于透光性好 ,强度高 , Z 值低等优势 ,而可以作为 ICF 物理实验中金
(α )
属/ 合金靶的“透明”支撑层 。超硬非晶碳薄膜 C 是 DL C 薄膜中最常见的形式之一 ,具有优 良的物理 、化学
( ) ( ) ( ) (
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