第3讲 精密与超精密加工技术.pdf

先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 先进制造技术 Advanced Manufacturing Technology 第3讲 精密与超精密加工技术 授课：张俊雄 中国农业大学 工学院 Email: mech18@ 先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 本章内容 一． 超精密加工技术概述 二． 超精密加工技术的发展历程 三． 超精密加工的范畴 四． 超精加工的加工精度主要影响因素 五． 超精密加工的主要方法 六． 超精密加工的发展趋势 2 先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 3 先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 一、超精密加工技术概述 精密与超精密加工技术是适应现代技术发展的 一种机械加工新工艺。担负着支持最新科学技术进 步的重要使命，是衡量一个国家现代制造技术水平 的重要指标之一，是现代制造技术中最活跃的因素, 已成为一个国家制造技术水平的主体。 4 先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 精密和超精密加工定义 ◆ 精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质 量达到较高程度的加工工艺。 超精密加工 —— 在一定的发展时期，加工精度和表面质 量达到最高程度的加工工艺。 ◆ 瓦特改进蒸汽机时代—— 镗孔精度 1mm 20 世纪40 年代—— 最高精度1μm 20 世纪末—— NOW 精密加工：≤0.1μm，Ra ≤0.01μm （亚微米加工） 超精密加工：≤0.01μm ，R ≤0.001μm （纳米加工） a ◆ 微细加工 —— 微小尺寸的精密加工 超微细加工 ——微小尺寸的超精密加工 5 先进制造技术 第3讲 精密与超精密加工技术 几种典型精密零件的加工精度 零件 加 工 精 度 表面粗糙度 激光光学零件 形状误差0.1μm Ra 0.01～0.05μm 多面镜 平面度误差0.04μm Ra ＜0.02μm 磁头 平面度误差0.04μm Ra ＜0.02μm 磁盘 波度0.01 ～0.02μm Ra ＜0.02μm 雷达导波管 平面度