第五讲 纳米检测和表征技术.pdf

纳米检测和表征技术 检测和表征如何实现？ • 通过对表征材料的物理性质参数及其变化（称为 测量信号或特征信息）的检测实现的。材料分析 的基本原理是指测量信号与材料成分、结构等的 特征关系 • 采用各种不同的测量信号（相应地具有与材料的 不同特征关系）形成了各种不同的材料分析方法 衍射分析方法概述 探测晶格类型和晶胞常数，确定相结构 •原理：利用电磁波或运动电子束、中子束 等与材料内部规则排列的原子作用产生相 干散射，获得材料内部原子排列的信息， 从而重组出物质的结构 x射线衍射、电子衍射、中子衍射 一、X射线衍射分析 • X射线照射晶体，散射波相互干涉 ，在某些方向 上一致加强，即形成了晶体的衍射波。 晶胞的形状大小 2dHKL sinθ λ 衍射方向 ——布拉格方程： 衍射强度 晶胞中原子的位置和种类 据以实现材料结构分析等工作的两个基本特征 X射线衍射仪 二、电子衍射分析 •电子衍射分析立足于运动电子束的波动性。 入射电子被样品中各个原子弹性散射，被各 原子弹性散射的电子束相互干涉，在某些方 向上一致加强，即形成了样品的电子衍射波。 •电子衍射的分类： 高能电子衍射 按入射电子能量的大小 低能电子衍射 透射式电子衍射 按电子束是否穿透样品 反射式电子衍射 TEM电子衍射 X射线衍射与电子衍射(TEM上)分析方法的比较 衍射分析方法 Ｘ射线衍射 电子衍射(TEM上） -1 -3 源信号 X射线 (λ,10 nm 数量级) 电子束(λ,10 nm数量级) 技术基础 X射线被样品中各原子核 电子束被样品中各原子核 外电子弹性散射相长干 弹性散射的相长干涉 涉 样品 固体 薄膜 辐射深度 几~几十 μm 1 μm 3 3 辐射对样品作用体积 约0.1~0.5 mm 约1μm ° ° ° ° 衍射角 (2θ ) 0 ~180 0 ~3 衍射方向的描述 布拉格方程 布拉格方程 结构因子概念与 相同 相同 消光规律 ° ° 晶体取向测定准确度 1 约 ± 5 单晶电子衍射花 样