第六章 扫描电镜.pdf

第六章 扫描电子显微镜 一.扫描电镜的特点 它是近几十年来获得迅速发展的电子显微分 析仪器，它即可用来直接观察试样的表面形貌， 又可以对试样表面进行成分分析。与反射式光学 显微镜比较，具有分辩率高，视野大，景深长， 图象实于立体感及放大倍数高等优点，与透射电 镜比较，个别样非常简单，导电试样可直接观 察，可观察大试样，不破坏试样表面，分析简单。 它是进行试样表面形貌分析的有效工具，尤其适 用于金属断口的形貌观察及断裂原因分析。 Filament Filament current Anode Gun shift L Gun tilt Condenser lens Movable aperture Deffection coin x y Image shift Stigma Focus Pre-amp W.D Se detector l SEM 結構圖 Theory of Scanning Electron Microscope Theory of Scanning Electron Microscope Al Coating Layer Scintillator Scintillator Primary Electron Beam Phosphors Photomultiplier Photo Multiplier Tube Secondary Electron Photons Signal Light Guide Specimen +10kV CRT Secondary electron detection system Secondary electron detection system 三.放大倍数与分辨本领 如前说述，扫描电镜的成象原理是用细聚 焦电子束在样品表面扫描时激发所产生的某些 物理信号来调制成象，由于采用镜面电子束在 试样表面扫描与显象管扫描严格同步，因此， 荧光屏上的图象应与电子束扫过试样表面一 致，其大小成比例，其比例关系即定义为扫描 电镜的放大倍数。即： M=显像管荧光屏面积/电子束扫过试样表面面积 =S/A 由于S固定,因此,改变镜筒电子束扫描偏转线圈 的电流,就可以改变电子束扫过试样表面的面积A, 从而实现倍数M的调节. 为了实现不同观察及照相记录的需要,几乎所 有电镜均设有几种扫描