超净工作台验证[1].pdfVIP

超净工作台验证方案 目录 1引言2 1.1概述2 1.2设备结构及工作原理3 1.3主要技术参数3 2 安装确认 （IQ）3 2.1 目的3 2.2验证方法3 2.3 文件资料检查4 2.4 设备主要参数及材质确认4 2.5公用工程连接5 2.6仪器仪表校正5 2.7安装场地确认5 2.8安装确认小结5 3 运行确认 （OQ）6 3.1检查项目方法、步骤及标准6 3.2运行确认小结：7 4 性能确认 （PQ）7 4.1 目的7 4.2悬浮粒子数测定7 4.2.1测点分布7 4.2.2测试方法8 4.2.3计算8 4.2.3合格标准9 4.2.4 洁净度检测小结9 4.3 自净时间测定10 4.3.1原理10 4.3.2仪器选用10 4.