表面分析技术绪论.ppt

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表面分析技术绪论

表面分析技术 表面被认为是固体顶上的2~10个原子单层(0.5~3nm)的范围。 许多技术应用表面膜于器件或元件以改变其表面性质等这些膜厚在10~100nm范围有时会更厚,表面也可以认为不超过100nm 。 表面分析技术定义 指利用电子、光子、离子、原子、强电场、热能等与固体表面的相互作用,测量从表面散射或发射的电子、光子、离子、原子、分子的能谱、光谱、质谱、空间分布或衍射图像,得到表面成分、表面结构、表面电子态及表面物理化学过程等信息的各种技术。 表面科学研究表面和表面有关的宏观和微观过程,从原子水平来认识和说明表面原子的化学几何排列运动状态电子态等性质及其与表面宏观性质的联系。 表面科学虽然诞生的历史不长但它被认为是当今发展最快与技术关系最密切的一门前沿科学它涉及物理学化学生物技术材料科学等许多领域。 表面分析的主要内容 表面化学组成,表面元素组成,表面元素的分布,表面元素的化学态,表面化学键,化学反应等 表面结构,表面原子排列,表面弛豫,表面再构,表面缺陷,表面形貌 表面原子态,表面原子振动状态,表面吸附(吸附能吸附位) ,表面扩散,分凝等 表面电子态,表面电荷密度分布及能量分布(DOS), 表面能级性质,表面态密度分布,价带结构,功函数。 简介 在20世纪60年代超高真空和高分辨高灵敏电子测量技术建立和发展的基础上,已开发了数十种表面分析技术。 其中主要有场致发射显微技术、电子能谱、电子衍射、离子质谱、离子和原子散射以及各种脱附谱等类。 研究现状 各种技术的表面灵敏度并不相同,单一技术只得到表面某一方面的信息。 为了对固体表面进行较全面的分析,常采用同时配置几种表面分析技术的多功能装置。 目前,各种表面分析技术的定量化尚待逐步完善。 学习内容 低能电子衍射和高能电子衍射 场发射扫描电子显微镜 扫描隧道显微镜和原子力显微镜 俄歇电子能谱 X射线光电子谱仪 紫外光电子谱 电子能谱与表面灵敏性 分析方法的表面灵敏度依赖于所检测的辐射。电子能谱中电子从被电子束或X射线照射的样品中发射出然后到达能量分析器和检测器进行分析测量。在电子能谱中尽管轰击表面的X射线光子或高能电子可透入固体很深(~1μm) 但可被检测的无能量损失的出射电子仅来自于表面的1~4或 8 nm。 电子能谱的表面灵敏度是在固体中输运而没有被散射的短距电子的结果。 对于电子在物质中的输运用不同的术语定义表面灵敏度 IMFP(λ) — 非弹性平均自由程。 具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位) 称为电子的非弹性平均自由程。 在表面分析中是一个重要参数它与电子能量和表面材料有关它可用来估计具有不同特征能量的电子所携带的信息深度。 ED — 逃逸深度 电子由于非弹性过程无大的能量损失逃逸的几率降到其原来值的e-1(38%)处垂直于表面的距离(nm单位) AT — 衰减长度 从一特殊模型中得到的具有一定能量的电子连续发生两次有效的非弹性碰撞之间所经过的平均距离(nm单位) 。这里弹性电子散射假设是可忽略的。 ID — 信息深度 垂直于表面的平均距离(nm单位) 。有给定百分比的检测到的电子的来源于此范围。 SD — 采样深度 =3λ 检测到的电子的百分比为95%时的信息深度。 粒子和物质的相互作用 要研究表面就必须依靠实际测量来获取表面信息。 表面分析技术就是通过微观粒子与表面的相互作用来获取表面信息的。 当具有某一能量的粒子(探针如光子、电子、离子等)入射到物质表面上以后就会与物质中的分子或原子发生相互作用。测量从物质中产生的不同粒子(它携带着表面物质的信息) 就可推知物质的许多物理和化学性质。 (1)光子与物质的相互作用 能量为几十电子伏以上的光子与固体表面相互作用可引起表面原子中的电子的电离发生光电发射同时也可能引起表面吸附物质的脱附或分解等。 (2)电子与物质的相互作用 能量为几千电子伏以下的电子和固体表面作用后可从固体表面发射出中性粒子、离子、光子和电子。 还可能在固体表面产生等离子激元(plasmon) 声子(phonon) 激子(exciton)等元激发过程。 入射电子与物质的相互作用分弹性散射和非弹性散射两种 当入射电子能量较低(Ep500eV)时以弹性散射为主,当入射电子能量较高(Ep1 keV)时以非弹性散射为主 电子与固体中的原子发生弹性散射时原子内能不变,即原子不被激发,电子和原子的总动能和总动量在散射前后保持守恒。 在非弹性散射中入射电子和表面原子相互作用后损失了部分能量它将转化为以下几种主要的能量形式 ?等离激元激发、单电子激发、声子及表面振动的激发和连续X光激发 (3)离子与物质的相互作用 离子与固体的相互作用过程十分复杂 离子与固体表面的相互作用包含一系列基本过程例如散

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