气体质量流量控制器（流量计）.PDFVIP

气体质量流量控制器（流量计） S48 32/HMT 使用说明 (Ver.2.1) 北京堀场汇博隆精密仪器有限公司 目录 1. 概述 1 2. 名词解释 2 3. 工作原理 5 4. 技术指标 7 5. 产品安装 8 6. 使用方法和操作步骤 16 7. 警告和注意 19 8. 故障判断和处理 22 9. 附录：标定和不同气体的换算 25 1. 概述 本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布， 造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。不同于容积式流量计，其流量精度 不受气体压力、环境温度影响。由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量， 所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。 1.1 使用范围 质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等 行业的气流测量与控制。 1.2 质量流量控制器（流量计） 质量流量控制器（流量计）(Mass Flow Controller （meter）缩写为MFC （MFM）)， 具备流量测量和流量控制两种功能。 1.3 S48 32/HMT质量流量控制器(流量计)的特点 S48 32/HMT型质量流量控制器（流量计）是在HORIBA STEC引进技术基础上， 结合国内需要而研制的一种质量流量控制器产品。 ☆具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。 ☆耐压高及适用于真空条件下工作。气体流量不因温度、压力的变化而变化。 气阻较小，工作压力范围宽。 1 ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。耐腐蚀性强。 ☆可任意角度安装。 ☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合工作。 配合MT-56系列流量显示仪，可对气流的瞬时流量进行精确测量和计量。 型式批准证书：2011F215-11 执行Q/CYHMT001-2011 企业标准 许可证编号：京号 2 .名词解释 2.1 质量流量 以单位时间内流过某截面的流体质量表示的流量。气体质量流量一般将其换 算成标准状态下的 体积/分钟 来表示。例如：毫升/分钟即 mL/min （SCCM行业 标准）, 升/分钟即 L/min （SLM行业标准）. 标准状态为：气体温度—— 273.15K (0℃)； 气压——101325Pa(1atm) 2.2 F.S.(Full Scale) 表示满量程值 2 2.3 准确度 满量程精度：控制器示值与标准器测量的实际值之差与满量程（F.S.）实际 值相比的百分比值。如：±1.0% F.S.(带后缀F.S.)。 2.4 标定条件 标准状态下，氮气N 标定。如果某质量流量计标定为其它种类气体，则是经 2 过换算，而成为所标定的气体在标准状态下用 体积/分钟 表示的质量流量。 2.5 响应时间 当设定值发生阶跃变化(例: 0100%)，气体流量将跟随改变，经过一段时间 将达到相对最终稳态值的误差范围之内，经过的这段时间就叫响应时间。 (T98)表示离最终稳态值相差±2%F.S.的时刻。 2.6 工作压力范围与耐压 工作压力范围是指能保证控制器在全量程范围内正常稳定工作的最小到最大 的入口与出口压力差。 耐压是指控制器管路内压力相对安装环境（大气压）的安全不泄露的极限 耐受压力。 2.7 流动方向 气流流过流量控制器(流量计)的方向。 3 由于热式流量计产品结构特点，决定了气流流动方向只能是阀体上箭头所示 方向，不能装反，否则将无法使用或损坏。 2.8 阀控选择 在控制器插头“