读出电路铟柱打底层对铟柱成球高度的影响-激光与红外.pdfVIP

第 卷 第 期 激 光 与 红 外 年 月 红外材料与器件 文章编号 读出电路铟柱打底层对铟柱成球高度的影响 谢 珩梁宗久杨雅茹 华北光电技术研究所北京 摘要针对超大规模红外探测器读出电路铟柱成球后高度过低导致倒装互连难度增加这一 问题 设计了试验 并分析讨论了读出电路铟柱打底层 形状对铟柱成球高度的影响 得出了铟球高度与铟柱尺寸和铟柱生长高度