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叠加法测量紫外探测器非线性的技术研究.pdf
第29卷第7期 光学 学 报 V01．29，No．7
2009年7月 ACTAOPTICASINICA July，2009
文章编号：0253—2239(2009)07—1881—04
叠加法测量紫外探测器非线性的技术研究
孙权社 陈坤峰 李艳辉
(ee国电子科技集团公司第41研究所，电子测试技术国家重点实验室，山东青岛266555)
摘要 叙述了在266nm波长点测量紫外探测器和紫外光功率计非线性的原理。提出了利用功率叠加法测量紫夕}
探测器非线性参数的新思路，设计并成功研制r精确测量紫外探测器非线性的装置。利用偏振分光棱镜实现光路
的分离与合并，提高了功率非线性测量的动态范围。采用外界杂散光屏蔽技术，减小了背景光和杂散信号对测量
结果的影响。编写r自动测量软件。优化了数学模型，降低了测量小确定度。实验结果表明，在1nw～100“w的
功率范围内，测量重复性小于0．3％，非线性扩展测量不确定度优于0．8％(矗=2)。
关键词紫外探测器；非线性；叠加法；偏振分光
中围分类号 TN206文献标识码 A doi：10．3788／AO1881
on MeasurementofUltraviolet
StudyNonlinearity
Method
bySuperposition
Sun Chen LiYanhui
QuansheKunfeng
(The41stResearchInstitute，CETCNationalLab Measurement
Key 0，Electronic Technology，QingDao，
266555，China)
ShanDong
AbstractThe ofultraviolet and meterat266nmwas
principleofmeasuringnonlinearity photodetectorPOwer
inthis new is for the ofultraviolet
presentedpaper．Atechniqueproposedmeasuringnonlinearity photodetectorusing
the method．Theofaccurate ultraviolet hasbean
powersuperposition facility measuring photodetectornonlinearity
iswidened a beam cubesforbeam
developed．Thepowernonlinearitydynamicrange byusingpolarizingsplitter
and effectof and onthemeasurementresultsisreducedthe
splittingcombining．Thebackground signals by
scattering
shield．Themeasurementuncertaintiesarereducedautomatictest and model．Results
ligh
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