AMATPECVD增设特殊气体及管线配设招标规范书-国家试验研究院.DOC

財團法人國家實驗研究院 國家奈米元件實驗室 AMAT PECVD增設特殊氣體管線 招標規範書 目錄 頁次 目的 3 1. 工作範圍 3 2. 送審文件 3 3. 管路、設備要求 4 4. 測試與驗收 6 5 . 保固 6 6. 其他 7 7 目的 本規範適用PECVD設備增設特殊氣體及管線配設一案。含管路3、B2H6、Ar、H2)之設計製造、安裝、驗收等之基本要求。 工作範圍： F C/R 1K區AMAT PECVD設備增設特殊氣體及管線配設(設備位置如附圖)，得標廠商應完成及提供本工程之設計、安裝、施工，其工程範圍如下：F C/R 1K區AMAT PECVD設備增設特殊氣體。 設備端增設氣體管線配置需求下表，並配有個MFC，等級至少要優於或同等於 STEC、MKSUNIT、BROOKS。 MFC Gas name Max Flow rate(sccm) 1 PH3 1000 0.9~1.1 2 B2H6 100 0.9~1.1 3 Ar 500 0.9~1.1 4 H2 5000 0.9~1.1 　　　　 所有管線漏率。 所有的質量流量控制器(MFC)為全新品，且為20年以後製。 送審文件 文件送審 承包商應提送文件至少包括： 管路閥件相關規格明細、數量 2.1.1.2設備端氣體管路設計詳圖。 測試計劃。工作執行計畫書承包商應提送文件規範說明 工作時程：標廠商應於提出工作執行計畫書（包括各項施工方法、作業程序、施工進度表、規劃設計圖說或文件…等）。 對於業主之評註意見應於個工作日內修正完成再次提送業主審查核可。 所有文件以中文標示(型錄依原廠提供) 管路、設備要求 配設所有穿牆铣孔再密封應符合建築及防火相關規定。 所有GN2、PN2、PO2、PH2、特殊氣體管線銜接應為無縫焊接及VCR gasket compression seals，CDA管線銜接應為無縫焊接及Swagelok gasket compression seals；所有Panel之附屬Parts(如Gasket)均需使用材質材料。 15A以上之PV管線銜接以PVC- SCH80A製程真空管路銜接應為無縫膠接。 警示標示： 管線閥件要標示氣體種類、流動方向等。(管線及閥件標示需與NDL新廠特殊氣體、GN2、PN2、PO2、PH2、CDA、PV等氣體標示格式樣相同。) 所有由Takeff Valve及VMB、VMP預留閥接出之管路，皆應於Takeoff Valve及VMB、VMP處標示接至何處(機台或位置)。 所有新設二次盤、盤箱(GB)均需標示氣體種類、使用之設備機台名稱。管線 管路材料規格： 管路、閥件：GN2、CDA為SUS316LBA級。PV大於15A管採用PVC SCH80A，小於15A管採用SUS316LBA級。PN2、PO2、PH2、特殊氣體為SUS316L EP級(二次盤、盤箱後管路尺寸及材質需配合機台要求)。 CDA隔離閥採用SUS316L BA級Ball valve，其餘氣體需採用隔膜閥(EP級)，GN2為( BA級) 。 PV隔離閥大於15A管採用PVC Ball valve小於15A管採用SUS316L BA級Ball valve。 BCl3由VMB接至GB及由GB接至機台管路需配設加熱裝置(含保溫、加熱帶、加熱器、加熱器電源)(加熱器需預留Alarm警示乾接點)。 BCl3、HBr、Cl2管路使用VIM+VAR、閥件使用Hastelloy、抗腐蝕材質。 CH2F2由GB、VMB接至設備VMB管路為雙套管式。 所有GN2、PN2、PO2、CDA、特殊氣體調壓均為低壓雙錶式。 新設之盤面(箱)valve出口如尚未銜接至機台時，均需以CAP或PLUG等密封。 SS316L管線大於