低电压下静电力驱动的数字微流控芯片-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ １ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．１ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ １ Ｊａｎ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０１００９７０６ 　 低电压下静电力驱动的数字微流控芯片 ， １２ １ １ １ １ 刘 翔 ，皋华敏 ，李 铁 ，周 萍 ，王跃林 　 　 　 （ 中国科学院 上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室，上海 ； １． ２０００５０ ２．中国科学院 研究生院，北京 １０００４９） 摘要：设计并制作了一种基于静电力驱动的数字微流控芯片，用于构建芯片实验室。介绍了静电力驱动原理和芯片制作 工艺流程，搭建了驱动检测实验平台。该芯片采用硅作衬底，氧化硅作绝缘层， ／ 为驱动电极阵列，氮化硅作介质 ＴｉＷ Ａｕ 层，碳氟聚合物为疏水层。由于采用开放式的结构，只需单层共平面控制电极，简化了工艺流程，优化了器件结构；而驱 动电极阵列嵌入在氧化硅中，改善了减小介质层厚度时介质层对金属的台阶覆盖性，减少了电极边沿突起引起的边界击 穿。另外，采用较薄的高质量介质层和疏水性能好的疏水膜层，大大降低了液滴驱动电压。实验显示，在 ２０Ｖ驱动电压 下，该工艺可实现液滴按程序设定方式在二维平面内流畅运动，最大运动速度达 ／。提出的芯片制作工艺简单， ９６ｍｍ ｓ 与 工艺兼容，可应用于生化分析芯片实验室系统。 ＩＣ 关 键 词：微流控芯片；液滴；静电驱动；低工作电压；开放式结构 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＮ３０３ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ００９７ 　　 　　 犇犻犻狋犪犾犿犻犮狉狅犳犾狌犻犱犻犮犮犺犻犫 犲犾犲犮狋狉狅狊狋犪狋犻犮犿犪狀犻狌犾犪狋犻狅狀犻狀犾狅狑狏狅犾狋犪犲 犵 狆 狔 狆 犵 ， １２ １ １ １ １ ， ， ， ， ＬＩＵＸｉａｎ ＧＡＯＨｕａｍｉｎ ＬＩＴｉｅ ＺＨＯＵＰｉｎ ＷＡＮＧＹｕ