光束整形系统异形元件的研制-中国光学.PDF

第苑卷摇 第猿期 摇 摇 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 灾燥造援苑摇 晕燥援猿 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 摇 圆园员源年远月摇 悦澡蚤灶藻泽藻韵责贼蚤糟泽摇 摇 允怎灶援圆园员源 文章编号摇 圆园怨缘鄄员缘猿员渊圆园员源冤园猿鄄园源远怨鄄园苑 光束整形系统异形元件的研制 鄢 付秀华 袁崔金迪袁贾宗合 渊长春理工大学光电工程学院袁吉林长春员猿园园圆圆冤 摘要院为了实现非球柱面镜的高精度加工袁解决这一领域面临的难题袁对非球柱面镜的加工和检测方法进行了深入的研 究遥 采用古典与现代制造技术相结合的方法袁研制了用于光束整形的异形元件袁该异形元件是由非球柱面镜和柱面镜组 成遥 针对非球柱面镜面型难以控制的问题袁给出了独特的抛光模设计遥 结果表明院经过轮廓仪检测面型精度为园郾愿源愿苑 滋皂袁达到了图纸精度袁满足了光学元件的使用要求遥 关摇 键摇 词院非球柱面镜曰加工曰检测曰面形误差 中图分类号院栽匀苑园远摇 摇 文献标识码院粤摇 摇 凿燥蚤院员园援猿苑愿愿辕悦韵援圆园员源园苑园猿援园源远怨 云葬遭则蚤糟葬贼蚤燥灶燥枣燥凿凿鄄枣燥则皂糟燥皂责燥灶藻灶贼怎泽蚤灶早蚤灶遭藻葬皂泽澡葬责蚤灶早泽赠泽贼藻皂 鄢 云哉载蚤怎鄄澡怎葬 袁悦哉陨允蚤灶鄄凿蚤袁允陨粤在燥灶早鄄澡藻 渊杂糟澡燥燥造燥枣韵责贼燥藻造藻糟贼则燥灶蚤糟耘灶早蚤灶藻藻则蚤灶早袁悦澡葬灶早糟澡怎灶哉灶蚤增藻则泽蚤贼赠燥枣 杂糟蚤藻灶糟藻葬灶凿栽藻糟澡灶燥造燥早赠袁悦澡葬灶早糟澡怎灶 员猿园园圆圆袁悦澡蚤灶葬冤 鄢悦燥则则藻泽责燥灶凿蚤灶早葬怎贼澡燥则袁耘鄄皂葬蚤造院早燥责贼蚤糟泽岳员圆远援糟燥皂 粤遭泽贼则葬糟贼院陨灶燥则凿藻则贼燥则藻葬造蚤扎藻贼澡藻葬泽责澡藻则蚤糟糟赠造蚤灶凿则蚤糟葬造皂蚤则则燥则燥枣澡蚤早澡责则藻糟蚤泽蚤燥灶责则燥糟藻泽泽蚤灶早袁葬灶凿泽燥造增藻贼澡藻凿蚤枣枣蚤鄄 糟怎造贼责则燥遭造藻皂泽 蚤灶 贼澡蚤泽 枣蚤藻造凿袁 贼澡藻 葬泽责澡藻则蚤糟 糟赠造蚤灶凿则蚤糟葬造 皂蚤则则燥则 责则燥糟藻泽泽蚤灶早 葬灶凿 贼藻泽贼蚤灶早 皂藻贼澡燥凿泽 葬则藻 凿藻藻责造赠 则藻鄄 泽藻葬则糟澡藻凿援 悦造葬泽泽蚤糟葬造葬灶凿皂燥凿藻则灶责则燥糟藻泽泽蚤灶早皂藻贼澡燥凿泽葬则藻葬凿燥责贼藻凿葬灶凿燥凿凿鄄枣燥则皂糟燥皂责燥灶藻灶贼枣燥则遭藻葬皂泽澡葬责蚤灶早 泽赠泽贼藻皂葬则藻枣葬遭则蚤糟葬贼藻凿蚤灶贼澡蚤泽责葬责藻则袁憎澡蚤糟澡蚤泽糟燥皂责燥泽藻凿燥枣葬泽责澡藻则蚤糟糟赠造蚤灶凿则蚤糟葬造皂蚤则则燥则葬灶凿糟赠造蚤灶凿则蚤糟葬造皂蚤则则燥则援 粤 怎灶蚤择怎藻责则燥凿怎糟贼蚤燥灶燥枣责燥造蚤泽澡蚤灶早凿蚤泽噪蚤泽责则燥责燥泽藻凿葬蚤皂蚤灶早葬贼贼澡藻责则燥遭造藻皂贼澡葬贼 贼澡藻泽怎则枣葬糟藻泽澡葬责藻蚤泽糟燥灶贼则燥造造藻凿澡葬则凿鄄 造赠援 砸藻泽怎造贼泽泽澡燥憎贼澡葬贼贼澡藻泽怎则枣葬糟藻藻则则燥则蚤泽园郾愿源愿苑滋皂遭赠贼澡藻责则燥枣蚤造燥皂藻贼藻则凿藻贼藻糟贼蚤灶早袁憎澡蚤糟澡糟葬灶皂藻藻贼贼澡藻燥责藻则葬鄄 贼蚤燥灶葬造则藻择怎蚤则藻皂藻灶贼燥枣贼澡藻燥责贼蚤糟葬造藻造藻皂藻灶贼泽援 运藻赠憎燥则凿泽院葬泽责澡藻则蚤糟糟赠造蚤灶凿则蚤糟葬造曰责则燥糟藻泽泽蚤灶早曰贼藻泽贼蚤灶早曰泽怎则枣葬糟藻藻则则燥则 摇 摇 收稿日期院圆园员猿鄄员园鄄员员曰修订日期院圆园员源鄄园圆鄄员猿 摇 摇 基金项目院广东省教育部产学研结合资助项目渊晕燥援圆园员园月园怨园源园园园源愿冤 源苑园 摇 摇 摇 摇 中国光学摇 摇 摇 摇 摇 摇