光谱范围从365至12000nm的高精度光电自动折射仪-光学精密工程.PDF

第 6 卷　第 3 期 光学　精密工程 . 6, . 3 V o l N o 1998 年 6 月 O P T IC S AN D PR EC IS ION EN G IN EER IN G J un e, 1998 光谱范围从 365 至 12000nm 的高精度 光电自动折射仪 米宝永 ( 中国科学院长春光学精密机械研究所　　长春 130022) 　　摘要　介绍了由作者研制的光谱范围从 365 至 12000nm 的高精度光电自动折射 仪的测量原理、主要误差源和仪器组成。用该仪器对包括红外材料锗在内的多种样品进 行了测量, 在小于 2600nm 和大于 2600nm 的波长范围内分别获得了优于±3 ×10- 6 和 ±5 ×10- 5 的折射率测量精度。 关键词　　折射仪　折射率　 自动测量　垂直入射 1　引　　言 　　随着现代科学技术的发展, 对在天文学、航天遥感及生物医学等诸多领域内应用的光学设 备的质量要求愈来愈高, 光谱范围愈来愈宽, 因此, 随着新品种高质量光学材料的研制, 对光学 材料进行折射率的精密测量是十分重要的。 许多人对折射率测量作了大量工作[ 1～ 8 ] , 提出了许多有意义的测量方法, 但精度偏低, 仅 限于 10- 5 量级。H eidenh a in [3 ] 研制的高精度测角仪可达到 1 ×10- 6 的折射率测量精度, 但仅用 于可见光范围。文献[ 1～ 2 ]也只能在 2600nm 范围以内进行 10- 5 量级的折射率测量。为了达到 高精度并实现自动测量, 我们采用了垂直照射封闭测量法, 获得了满意的测量结果。 2　仪器的测量原理及主要误差源 [ 8 ] 　　由于垂直照射封闭测量法 测量精度高, 而且易于实现自动化, 故在我们所设计的仪器中 得到了具体应用。 如图 1 所示, 由准直光源发出的一束平行光与被测等边棱镜的BC 面垂直入射, 并经该面 收稿 日期: 1998- 03- 05 80 光学　精密工程 6 卷 出射, 其折射角为 , 测完折射角后, 将样品台按 120 °旋转 A 两次, 使入射光束分别与样品的A C、A B 两面垂直, 得出折 射角 、, 将测得的折射角平均值= ( + + ) 3 代 B c A B C 入下式 1 2 1 n = [ (4 sin + 2 3 sin + 3) ] 2 ( 1) 3 2 2 [9 ] 即可求出被测样品的折射率 。 为了分析测角误差对折射率的影响, 我们将上式对 1 ( ) 微分, 并令 [2 sin + 3 co s 2 ] = K , 则得 6n dn = K d (2) 对不同折射率值可求得相应的K 值, 如表 1 所示。根据不