CCD分段测量的光学位移测量系统.pdfVIP

第19卷第9期 光学精密工程 V01．19No．9 andPrecision 2011年9月 Optics Engineering Sep．2011 文章编号1004-924X(2011)09-2036-07 CCD分段测量的光学位移测量系统 李雅倩’，付献斌，周 坤 (燕山大学电气工程学院，河北秦皇岛066004) 摘要：为了高精度地实现大量程的位移测量，采用传统激光三角法的测量原理。提出一种基于虚拟探测器的激光三角法 来测量位移。该方法基于3个CCD分段测量的思想，将3个CCD互相独立且沿光轴均匀分布，以此扩大传统方法测量 的范围。使用平面反射镜作为虚拟探测器进行探测，当成像光束经平面镜反射后在CCD上成像时，系统相当于增加了 一个CCD，扩展了测量量程。由准直系统、偏振片、光阑组成准直滤光系统，缩小探测器光敏面上像点的直径，减小被测 表面非理想光点对测量精度的影响，从而实现了较高精度下的大位移测量。最后通过实验验证了方法的可行性。 关键词：激光三角法；CCDf虚拟探测器；位移测量 中图分类号：TH822：TN386．5文献标识码：A doi：10．3788／OPE2036 Opticaldisplacement measuringsystem CCD measurement by segmental LI Kun Xian-bin，ZHOU Ya-qian。，FU (InstituteElectrical 066004，China) University，Qinhuangdao of Engineering，Yanshan *Correspondingauthor，E-mail：yaqian．1i@ysu．edu．cn realizethe and newmethod Abstract：To high—precision measurement，a large-scale displacement basedonavirtualdetectorwasdescribed tOthebasic oftraditionallaser according principles triangula- wasused tionmethod．TheCCDsubsectionmeasurementto the andtO enlargemeasuringrange imple- CCDsweredistributed the mentthe measurement．Three displacement independent uniformlyalong axisanda reflectedmirrorw