一种使用双棱镜的动态小角度测量方法.pdfVIP

第34卷第9期 中 国 激 光 V01．34。No．9 2007年9月 CHINESE OFLASERS JOURNAL 文章编号：0258—7025(2007)09—1255—05 一种使用双棱镜的动态小角度测量方法 锋1，步 扬1 郑德锋1’2，王向朝1，李中梁1’2，唐 (1中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室，上海201800；2中国科学院研究生院，北京100039) 摘要提出一种基于正切关系和相位调制技术的动态小角度测量方法。使用双棱镜组成干涉测量臂引导两束平 行光至分束棱镜处干涉，通过提取携带被测信息的干涉信号的相位实现动态的小角度测量。由于采用位置探测器 (PSD)对测量臂中两平行光束的间距进行测量，简化了测量方程，消除了装置中双棱镜必须对称放置的要求。通过 正弦地改变半导体激光器的注入电流在时域内实现对干涉信号的相位调制，形成准外差干涉测量模式，提高了光 程差的测量精度。实验验证了该方法的可行性，并讨论了影响小角度测量精度的误差因素。研究结果表明，基于 该方法的动态小角度的重复测量精度可达到10“rad数量级。 关键词测量；干涉；直角棱镜；相位调制 74]．2+3 文献标识码A 中图分类号TH TwoPrisms MeasurementofSmall with Dynamic Angle ZHENG Zhong—lian91”，TANGFen91，BUYan91 De—fen91”，WANGXiang—zha01，LI Institute andFine rLaboratoryforInformationOptics，ShanghaiofOptics Mechanics，1 nPChinese 201800，China AcademyofSciences，Shanghai 2 Chinese 100039，China I Graduate J Universityof AcademyofSciences，Beijing AbstractAmethodis basedon and modulation for small presented tangentrelationshipphase techniquedynamic arm oftWO aredirectedintoa measurement．Twobeamsreflectedameasurement angle parallel by composedprisms is toobtainthemeasurementresultofsmall beam toformaninterferencewhich angle．A splitter signal analysed