多晶硅铸锭涂层用高纯Si3N4微粉的研究进展与展望.PDF

　第 28卷 第 3期 　 　　　　 　　　　硅 　酸 　 盐 　通 　报　　　 　　　 　Vol. 28　No. 3 　 2009年 6月 　　 　　　　　 BULL ETIN OF TH E CH IN ESE CERAM IC SOC IETY　　　　 　　　 June, 2009　　 多晶硅铸锭涂层用高纯 S i N 微粉的 3 4 研究进展与展望 1, 2 2 1 1 袁向东