梁三点弯曲法测量薄膜弹性模量.pdfVIP

第33 卷 第1 期 稀有金属材料与工程 Vol.33 No.1 2004 年 1 月 RARE METAL MATERIALS AND ENGINEERING January 2004 梁三点弯曲法测量薄膜弹性模量 任凤章 周根树 赵文轸 郑茂盛 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室 陕西西安 710049 摘 要 用电刷技术在不锈钢基体一侧表面上刷镀了 Cu 膜 用电镀技术在不锈钢基体一侧表面或双侧表面上制备 Ni 膜 用梁三点弯曲法在自制的设备上测量不锈钢基体以及不锈钢基体上不同厚度Cu 膜和Ni 膜的弹性模量 E 研究表 明 在测量的膜厚范围内 7µm~15 µm Cu 膜和Ni 膜的弹性模量E 不随膜厚变化 并且接近各自块材的弹性模量 关键词 三点弯曲实验 薄膜 弹性模量 中图法分类号 TG115.5 O484.5 文献标识码 A 文章编号 1002-185X(2004)01-0109-04 梁三点弯曲法测量不锈钢基体以及不锈钢基体上不同 1 前 言 厚度的镍膜和铜膜的弹性模量 薄膜的力学性能是薄膜元器件设计的依据 对元 2 实验方法 器件的性能 可靠性和使用寿命有很大影响 它包括 薄膜的弹性模量 屈服强度和界面结合强度等力学参 2.1Cu 膜和Ni 膜制备 量 薄膜的弹性模量不仅是薄膜器件设计的必要参量 所用基体为马氏体不锈钢 用电刷镀技术制备 Cu 而且也是诸如屈服强度 断裂韧性和残余应力等力学 膜 单面刷镀 刷镀电压为 12 V 室温下刷镀 刷 性能测量与评定的基础 镀前基体表面经过热碱水去油 电洁净和电活化处理 由于尺寸因素 薄膜弹性模量测量比块材弹性模 膜厚用刷镀次数控制 用电镀技术制备Ni 膜 电镀前 量的测量难度大得多 许多学者针对薄膜的特点 对 基体表面用热碱水除油 氢氟酸浸泡 min 活化表面 [1~4] 其弹性模量的测量方法及测量仪器展开了大量的研究 目 镀膜厚度用电镀时间控制 电镀液温度控制在55 ~60 前 常采用的测试方法有纳米压入法 鼓泡法和梁弯 电镀电流密度为4 A/dm2 其波动控制在5 以内 曲法[5~9] 鼓泡法在研究硅基体上的薄膜力学性能方面 在制备两种膜时 基体不需镀膜部分用压敏胶带粘贴 得到较广泛的应用 但由于制样方面的困难 在实际 保护 测定其它基体上薄膜的力学性能方面应用很少 纳米 2.2弹性模量测量 压入法由于方法简单和对试样无特殊要求而得以广泛 所用马氏体不锈钢基体最终尺寸为 80 4.97 应用 但是 这种实验方法也有一些缺点 由于该方 0.192 mm3 基体经过平面夹紧600 h 退火校平 法的力学模型不完善 对同一试样在不同的测量条件 处理 处理后基体平直 基体镀膜表面经过磨削和抛 下 诸如压头形状不同和压入深度不同 的实验结果 光 处理后基体表面的粗糙度 R a 约 0.4 µm 用上述 无法统一 刷镀工艺在基体的一侧表面 ( 80 2 对各向异性薄膜各个方向的弹性模量和多