激光粒度仪测量窗口全反射现象对测量结果的影响-中国仪器网.DOC

激光粒度仪光源偏振态对粒度测量的影响 陈进1，潘林超2，张福根1 1珠海欧美克仪器有限公司，珠海，519085 2天津大学精密仪器与光电子工程学院，天津，300072 摘要：本文研究了激光粒度仪光源偏振态对粒度测量的影响，发现受其影响的粒度范围主要在0.3(m~1.5(m之间。在设计仪器时，若选择垂直偏振光源，则仪器在上述范围的粒度测量的准确性和分辨率等性能指标可显著改善，从而获得相对更好的性能。 关键词：激光粒度仪，偏振态 1 引言 颗粒在工业生产中有着非常广泛的应用，也和人们的日常生活密切相关。颗粒粒径是颗粒的最重要参数，颗粒粒径的大小在许多情况下直接影响到相关产品的性能和质量。近年来，随着各种新型颗粒材料的出现，也给激光粒度仪的粒度测量的准确性和分辨率等指标提出了更高的要求。 目前，在用激光静态散射法测量颗粒的粒度分布时，通常是将颗粒样本分散在流动的悬浮介质（通常是水）中，然后流过测量窗口，同时用激光垂直照射测量窗口，在测量窗口前面和后面放置光电探测器测量颗粒的散射光信号，然后经过计算机进行反演计算从而得到颗粒样本的粒度分布曲线。而颗粒样本的散射光从水中经过玻璃出射到空气中时，会受到全反射现象的影响，从而导致某些角度的散射光无法被光电探测器探测到，最终可影响到0.1(m~1.0(m的粒度测量[1]。国产激光粒度仪几乎全部都是采用激光束正入射到测量窗口的光路结构，其测试结果不可避免地在0.1(m~1.0(m区间会受到影响。国外公司如英国马尔文公司Mastersizer2000粒度仪采用蓝光斜入射[2]、德国FRITSCH公司analysette22粒度仪采用棱镜形状测量窗口[3]、日本岛津公司SALD-7101粒度仪采用在窗口侧面放置探测器[4]等方法来处理全反射的影响。珠海欧美克仪器有限公司正在开发中的专利斜入射窗口技术将彻底解决此问题[5]，能够连续获得0(~180(全范围散射光能信息，结构简单，无数据拼接问题，能够进行大范围的连续测量。在斜入射窗口技术中，我们将激光束倾斜入射到测量窗口上，然后测量散射光能，因此激光的偏振态将会对测量造成影响。如果从玻璃与水、玻璃与空气界面的折射角度考虑，由于偏振方向平行于入射面的激光具有较高的透射率，这有利于微弱散射光能信号的测量，似乎应优先考虑选择平行于入射面的偏振激光。根据激光散射特性可知，颗粒散射光能的分布也与激光的偏振方向有关，因此激光的偏振态也会对最终的粒度测量结果造成影响，本文将在理论计算的基础上对此影响进行研究分析，从而能够对激光粒度仪的设计提供一些指导，以进一步提高仪器的性能。 2 偏振激光的米氏散射光能计算及分析方法 与现在激光粒度仪常采用的光学结构相比[6]，斜入射窗口技术的测量窗口面不再与入射激光束垂直，而是倾斜70(放置[5]，此时激光束主光线的入射角也为70(，光路结构如图1所示，光电探测器阵列探测前向小角度散射光，侧向探测器探测前向大角度散射光，后向探测器探测后向散射光。 图1 激光粒度仪的斜入射光路结构 Fig.1 The oblique incidence optical path structure of laser particle size analyzer 假设测量窗口中的悬浮介质为水，经过计算可以发现这种结构能够同时连续测量全范围0(~180(散射光能，不会受到全反射的影响，此时探测器分布的平面也就是激光散射平面与激光斜入射平面重合。这种结构在测量90(散射角光能时也可以实现连续测量，可连续获取全部散射角度的散射光能信息，这是此结构最主要的特点。采用斜入射窗口技术将大大提高激光粒度仪在测量某些亚微米颗粒时的性能。 2.1 米氏散射光能计算方法 米氏（Mie）理论是描述光的散射现象的严格理论，因此现代激光粒度仪大都采用米氏散射理论来计算探测器上的散射光强分布[7-9]。假设颗粒是均匀、各向同性的圆球，则可以根据Maxwell方程组严格地导出散射光场的强度分布为： （1） 其中Ia和Ib分别表示垂直于散射面和平行于散射面的散射光强分布， 式中，(?表示散射角，al和bl的表达式如下， 此处，，，；式中，为介质的介电常数，为散射粒子的介电常数，为电导率，和分别为真空和介质中的光波长，r为粒子半径，而 其中，和分别是第一类贝塞尔函数和诺俟曼函数。和的表达式则为： 其中为一次缔合勒让德多项式。 Mie理论是描述散射光场的严格理论，适用于经典物理意义上任意大小的颗粒。但是对大颗粒()，Mie散射公式及其数值计算都相当复杂。将米氏理论计算所得的散射光强对各个