空气中大气压下均匀辉光放电的可能性.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 )! !% %% !% ， ， ， 45: -)! J5 - !% K919.L9= %% （ ） !(%3C %%C )! !% C %??## DEFD +/GHIED HIJIED %% EMA6 - +MN; - H51 - 空气中大气压下均匀辉光放电的可能性 王新新 芦明泽 蒲以康 （清华大学电机工程系，北京 !#$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %% $ %$ %% !! 利用介质阻挡电极结构，对 ) 气压下空气间隙中的放电进行了实验研究，数值模拟计算了实验 !’!(%) * ! +, 条件下电子雪崩的发展过程 结果表明：对于长度不大于 的空气间隙，可能实现辉光放电 对于长度不小于 - %.. - 的空气间隙，如果不能设法降低放电场强，放电必然是流注形式，不可能实现辉光放电 另外，实验结果未能验 ).. - 证“离子捕获”机理降低放电场强而实现辉光放电的正确性- 关键词：大气压辉光放电，电子雪崩，流注 ： ， !## )%#/ )!) 压下辉光放电- 但在大气压力下，当电极间的空气隙 !’ 引 言 较大时（ ).. ），人们看到的放电通常是由大量的 ! 时空分布无规则的放电细丝组成的，即流注（ ;=9,. 近年来，低温等离子体在工业生产中得到越来 ）放电 总之，实现空气中大气压下均匀辉光放电 9= - 越广泛地应用，如等离子体表面处理，即利用等离子 仍然是研究的难点和热点- 体中的活性粒子对材料表面进行改性，如薄膜或纺 本文是对空气中大气压下均匀辉光放电可能性 ［］ 织品的表面改性 ! - 多数低温等离子体是在几百帕 的理论和实验研究结果- 的低气压下通过气体放电产生的，低气压等离子体 用于工业生产时必然存在以下的两个重要缺点之 % ’ 实验研究 一：）采用低效率的分批处理方式，它必须时常打开 ! ［，］ 真空处理室取出成品，添加试品，难于连续生产；）