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在微小尺寸范围，机械依其特征尺寸可以划分为1-10mm的小型机械，1um-1mm的微型机械以及1nm-1um的纳米机械。所谓微型机械从广义上来讲包含了微小型和纳米机械。 日本起步晚于美国，但是政府、学术界和产业界高度重视，东京大学、东北大学等单位相继开展了微细加工、微流量泵、微型传感器、微型继电器等方面的研究都取得了很快的进展。名古屋大学研制了直径为6mm、具有16个爪的管道机器人。精工Epson公司研制的光诱导微型自行走机器人是一个机电光综合体，外形尺寸小于1cm3，重量仅为1.5g，具有爬坡能力。 　　　德国的夫郎荷费固体工艺研究所的集成传感器被列入联邦研究技术部的第一重大项目，已研制成功振动和加速度传感器、微型麦克风、温度和流量传感器用的各种微型部件。德国在微细加工方面首创的ＬＩＧＡ工艺，即X光射线光刻、微电铸和微塑铸三种工艺的有机结合，可实现高深宽比的微结构制作。例如LIGA工艺制作出的直径80um、厚度140um的微齿轮，可用于微系统的动力传输。 　　　我国的整体形势是面上正逐步铺开，深度也逐步深入，但是总体起步晚，由于技术基础薄弱和资金支持力度小等问题，在研究规模、技术水平上与先进国家相比尚有较大的差距。比如，在一年一度的IEEE-MEMS大会上发表论文的数量与欧美日，甚至韩国相比还有很大的差距。2001年度则只有从香港科技