气质联雍兔仪的基本结构及工作原理.ppt

油扩散泵 通常使用的扩散泵液是聚苯醚(图1—52)，相对分子质量为446(C30H22O4)。 饱和蒸气压低，抗氧化性强，吸附能量小，不产生聚合物，热稳定性好，在 300℃分解很少 扩散泵的极限真空可达到10-5～10-6Torr。泵的抽速取决于泵的尺寸，一般质谱仪常用的扩散泵抽速有90 L／s、150 L／s、400 L／s、800 L／s 聚苯醚质谱图 使用扩散泵的注意事项： ①扩散泵加热前必须将真空系统的压强抽至低于 扩散泵的前级耐压值(10-2Torr)，否则泵不能工作，而且泵液容易氧化 ② 扩散泵工作时，必须有冷却(风冷或水冷)，不然泵液蒸气得不到冷凝，将返入真空室形成本底干扰，还将污染仪器；③严防泵在工作时，系统暴露大气，不仅泵液将被氧化，更严重的是使泵液进入系统，造成严重污染。 扩散泵的优点：①泵中没有可移动的部件，所以很可靠；②只需定期更换泵液，较少维护或不用维修；③价格远低于涡轮分子泵。 扩散泵的缺点：①存在泵液蒸气“返流”，造成的污染和形成本底；②真空系统偶然暴露大气，扩散泵液“返流”真空室内，整个仪器需要彻底清洗；③泵液加热，加热器会产生较大的热量；④突然停电，泵体无法迅速冷却，造成返油将严重污染仪器；⑤大抽速的泵需要配循环水冷装置。 油扩散泵和涡轮分子泵工作性能 项 目 油扩散泵 涡轮分子泵 泵液污染 有 无 冷却 水冷／风冷