微纳米加工表面和表层的完整性评价.PDF

2001 . 4 4 M icrof abrication T echnolog y 200 1 : 100382 13( 200 1) 04 - 0056- 05 1 2 , ( 1 , 1000 83 2 , 15000 1) : 对近年微纳米表面和表层的完整性评价技术和检测方法作了综合性概述, 并且 应 现有的高精度现代化测试设备, 对超精密加工的硅锗玻璃硬质合金铝等材 料的几种性能进行了实验研究, 证明了这些手段和评价方法的可行性 : ( SPM ) : T B4 3 : A 1 2 ,