文件名称-微奈米科技研究中心-成功大学.PDF

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2017-11-01 发布于天津
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國立成功大學微奈米科技研究中心 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science and Technology 雙束型聚焦離子束之文件名稱: 頁次 : 1/ 19 X光能量分散光譜儀(EDS)標準作業程序文件編號: M24-SOP_1 生效日期: 100.03.14 修訂日期修訂頁次修訂者修定內容 100.03.14 梁美蘭新制定本文件成大微奈米科技中心專有財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。國立成功大學微奈米科技研究中心 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science and Technology 雙束型聚焦離子束之文件名稱: 頁次 : 2/ 19 X光能量分散光譜儀(EDS)標準作業程序文件編號: M24-SOP_1 生效日期: 100.03.14 本文件成大微奈米科技中心專有財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。國立成功大學微奈米科技研究中心 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science and Technology 雙束型聚焦離子束之文件名稱: 頁次 : 3/ 19 X光能量分散光譜儀(EDS)標準作業程序文件編號: M24-SOP_1 生效日期: 100.03.14 目錄 I. 設備 ……………………………………………… P.4 II. 參考資料 ………………………………………… P.4 III. X光能量分散光譜儀 (EDS) 原理 …………… P.4 1. X-ray產生原理……………………… P. 4 2. X-光能量分散光譜儀結構 ………… P. 5 IV. 樣品前處理注意事項 … P.6 V. X光能量分散光譜儀操作步驟 ... ... ... P.7 VI. Analyzer 操作步驟 P.8 VII. Point ID操作步驟 ... P.16 VIII. Mapping 操作步驟 ….… P.17 IX. Linescane 操作步驟 ….… P.19 X. 注意事項……………….… P.19 本文件成大微奈米科技中心專有財產,非由書面許可,不准透露或使用本文件,亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。國立成功大學微奈米科技研究中心 National Cheng Kung University Center for Micro/Nano Science and Technology 雙束型聚焦離子束之文件名稱: 頁次 : 4/ 19 X光能量分散光譜儀(EDS)標準作業程序文件編號: M24-SOP_1 生效日期: 100.03.14 I. 設備 FEI Nova-200 NanoLab Compati