第六章透射电镜.pptVIP

第二篇 电子显微分析 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 材料的性能由微结构所决定，人们可通过控制材料的微结构，使其形成预定的结构， 从而具有所希望的性能。 电子显微分析是利用聚焦电子束与式样物质相互作用产生各种物理信号，分析式样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。 方法： 1、透射电镜（TEM） 2、扫描电镜（SEM） 3、电子探针（EMPA） 光学显微镜 优点： 简单，直观。 局限性：分辨本领低（0.2微米）；只能观察表面形貌；不能做微区成分分析。 化学分析 优点： 简单， 方便。 局限性：只能给出试样的平均成分，不能给出所含元素随位置的分布；不能观察图象 。 X射线衍射 优点：精度高；分析样品的最小区域mm数量级； 局限性：平均效应；无法把形貌观察与晶体结构分析结合起来。 1924年，德布罗意计算出电子波的波长 1926年，布施发现轴对称非均匀磁场能使电子波聚焦 1932～1933年间，德国的劳尔和鲁斯卡等研制成功世界上第一台电子显微镜 1939年，德国的西门子公司生产出分辨本领优于10nm的商品电子显微镜 相继问世了扫描透射电子显微镜(STEM)、扫描电子显微镜(SEM)以及上述产品与X射线分析系统(EDS、WDS)的结合，即各种不同类型分析型电子显微镜。 1986