硅液面抖动对单晶生长的影响及解决办法.docVIP

硅液面抖动对单晶生长的影响及解决办法 　　摘要：随着光伏行业大规模的发展，单晶品质对发电成本的影响尤为重要，然而单晶生产行业中硅液面抖动是直拉法单晶生长过程中经常出现的现象，影响单晶的正常生长。文章分析了具体生产过程中抖动的来源及其对单晶生长的影响，并总结抑制液面抖动的方法来消除这一影响。 　　关键词：直拉法；硅单晶；硅液面抖动；单晶生长；光伏产业 文献标识码：A 　　中图分类号：O782 文章编号：1009-2374（2016）34-0046-02 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2016.34.023 　　随着国家对光伏行业的大力支持，单晶成本在不断降低，太阳能单晶市场占有量逐步大于多晶的市场占有量，单晶的时代正在到来，单晶材料的发展越来越向高均匀性、大直径、无缺陷、高纯度的方向发展。直拉法是现在硅单晶生产中主要采用的一种生产方式，在使用直拉法工艺进行生产硅单晶过程中，经常会不可避免地出现抖动现象，硅单晶产品的品质也就因此受到了极大的影响。与此同时，硅单晶位错几率也会随着熔硅液面的剧烈抖动而被大大增加，这样一来生产的硅单晶的成晶率就会下降，从而生产企业的生产效益就会被影响。 　　1 直拉单晶生长技术 　　直拉单晶生长技术是把作为原料的多晶硅块投放进石英坩埚之中，然后使用单晶炉加热处理，等到单晶炉中温度达到一个恒定值时，在熔体中放入晶种（籽