一种热量补偿结构在多晶硅定向凝固设备中的应用研究-Core.PDF

43 7 人 工 晶 体 学 报 第 卷 第 期 Vol． 43 No． 7 2014 2014 7 JOUＲNAL OF SYNTHETIC CＲYSTALS July ， 年 月 一种热量补偿结构在多晶硅定向 凝固设备中的应用研究 朱 ， 徐立 洪永强 ( ， 361005) 厦门大学机电系 厦门 : (DS) 。 ， 摘要 定向凝固 是冶金法提纯太阳能级多晶硅的重要工艺环节 以保证垂直的晶体生长方向 维持良好的固 ， ， ， 液相界面形态为目的 设计了一种带有热量补偿结构的多晶硅定向凝固设备 用以替代常规设备的侧壁加热装置 、 。 ， 在满足工艺要求的同时达到节能减排 降低成本的目标 进行理论分析和数值模拟来阐述原理与设计结构 对优 、 、 。 化凝固工艺 设备结构 控制方法提供了理论依据与技术支持 : ; ; ; ; 关键词 多晶硅 定向凝固 固液相界面 热量补偿 数值模拟 中图分类号:O78 文献标识码:A 文章编号:1000-985X (2014)07-1626-09 Study on Application of Heat Compensation Structure in Polycrystalline Silicon Directional Solidification Equipment ZHU Xu-li ，HONG Yong-qiang (Department of Mechanical and Electrical Engineering ，Xiamen University ，Xiamen 361005 ，China) (Ｒeceived 30 December 2013 ，accepted 25 April 2014) Abstract :Directional solidification (DS)is an important technological link of manufacturing solar grade (6N)polycrystalline silicon by metallurgy． In order to ensure the vertical direction of crystal growth ， maintain a