毫米波椭偏法测量介质的复介电常数.pdfVIP

第16卷第4期 上海大学学报(自然科学版) V01．16No．4 2010年8月 OFSHANGHAI Aug．2010 JOURNAL UNIVERSITY(NATURALSCIENCE) doi：10．3969／j．issn．1007-2861．2010．04．008 ·研究简报· 毫米波椭偏法测量介质的复介电常数 李素萍1， Aft-华1，张友俊2， 张胜1， 李铭祥3， 李 英1 (1．上海大学通信与信息工程学院，上海200072；2．上海海事大学信．g-r程学院，上海200135； 3．上海大学电子物理研究所，上海201800) 摘要：将椭圆偏振测量法(椭偏法)的电磁频谱从原来可见光、红外波段拓展到毫米波段，对毫米波椭偏法测量原理 进行理论分析，使用已构建的实验装置进行测量．通过对测量结果的分析，选择合适的入射角，经过大量测试，计算 出被测介质材料的复介电常数． 关键词：复介电常数；椭圆偏振测萤法(椭偏法)；反射系数；毫米波 015 中图分类号：TN 文献标志码：A 文章编号：1007-2861(2010)04-0371-05 forMeasurementof ofMaterials Ellipsometry ComplexPermittivity inMillimeter．WaveBand U Su．pin91，WANGZi．hual，ZHANGYou-jun2，ZHANGShen91，LIMing—xian93，LIYin91 and ofCommunicationInformation (1．School Engineering，ShanghaiUniversity，Shanghai200072，China； 2．SchoolofInformation Maritime Engineering，ShanghaiUniversity，Shanghai200135，China； 3．InstituteofElectronic Physics，ShanghaiUniversity，Shanghai201800，China) Abstract：The bandof isextendedfromvisibleandinfrared electromagneticfrequencyellipsometry light the of inmillimeter-wave bandtomillimeter—waveband．We measurement analyze principleellipsometry out a self-buihmeasurement themeasured band，andcarryexperimentsusing apparatus．From results，an incidentischosen．Weobtain ofmaterialsbasedona amount appropriateangle complexpermittivity large ofmeasuredda