测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法.pdfVIP

第15眷第9期 光学精密工程 VoI_15No9 Preclslon 2007年9月 OptIcsandEn91neerlng SeD．Z007 1398—06 文章编号l。04—924X(2007)Og 测量微悬臂梁曲率的相移显微干涉法 黄玉波1，栗大超1，胡小唐1，傅星1，张文栋2，胡春光1 (1．天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室，天津3。0072 2．中北大学电子测试技术国家重点实验室，山西太原030051) 摘要：提出r一种摹于显微干涉和有限差分法在教悬臂粱上实现蛆率精确测最的方法。该方法将使用相移碾微干涉法 测得的微悬臂絷表面弯I}}【信息与用有限差分法解析的弯曲量进行对比，再运用拟牛顿算法或最小二乘法得到曲率的最 j 佳匹配值。实验结果表明：使用该方法町获得弯曲量测量值和解析值之间的均方根差值在L nn-“内的精确曲率值， 并且一定的像索偏移带来的误差对曲率测量的结果影响很小。由千方法保留了光学干涉法高分辨率及高精度等优点， 并考虑了非理想边界条件的影响，在MEMs残余应力和应力梯度测量中具有较大实用价值。 关键词：显微干涉法；曲率测量；有限差分法；拟牛顿算法；最小二乘法 3 中圈分类号：TH744 文献标识码：A CurvaturemeasurementofmicI·ocantileverbasedon interferometry phase—steppingmicroscopic HUANGYu_b01，LIDacha01HU Xia。taH91，FUXIn91 ZHANG HU Wen_don92Chun_guan91 dndjns￡r“men拈 (1．S￡d如K8yLd^o，＆￡o’yo，Prec2s20nMPns“ri“g丁0c^nozogy 300072，(强i邶； Tm础2n【如i。erst妙，1、抽卅in 2．Nn痂n“f EzPc￡mn站M舳sMrP小Fnz K。y，以抽m￡o删如r n如删雌y， 0300j1，c^inn) Nor抽№iwⅢ蛐o，@im“，乳2，眦n Abstract：AcurVaturemeasurementmethodbasedon andfinltcdiffcrcncc microscoplcInterferomctry methodis toextractthecurvatureofmicrocantilevers ofthemeas— proposed accuratcly．1ncompa“son uredvertical dataobtainedvia withthemodeleddatafromfinite height microsc。picintcrfcr。metry