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2017-10-25 发布于北京
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激光六维参数同时测量的数学模型.pdf

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激光六维参数同时测量的数学模型.pdf

第27卷第4期仪器仪表学报 V01．27No．4 Chinese ofScientificInstrument 2006年4月 Journal Apr．2006 激光六维参数同时测量的数学模型+ 匡翠方冯其波张斌张志峰陈士谦 (北京交通大学理学院北京 100044) 摘要六维参数同时测量一直是机床导轨检测中的一个难题。基于激光准直和干涉技术，提出一种以单光束为基准，同时测量机床导轨六维参数的系统数学模型。论证了所提出系统模型的可行性。通过对各维测量参数详细的理论分析，结果表明系统可以实现误差分离，且三维角度分辨率小于0．2”，线位移分辨率优于0．3pm。整个系统结构简单，具有移动部分不带电缆的优点，从而消除了移动测头带电缆给测量带来的不便和附加误差。其结论为系统设计提供了理论参考依据。关键词计量学六维参数同时测量激光测量数学模型数控机床中图分类号TB922TH741文献标识码A国家标准学科分类代码460．4035 MathematicModelof Six—dimensional SimultaneouslyMeasuring Laser Parameters by Bin Chen Qibo Shiqian KuangCuifangFeng Zhang ZhangZhifeng (SchooloJ Science，BeiiingJiaotongUniversity，Beijing AbstractThemethodofsimultaneousmeasurementofsix—dimensionalisa difficult from parameters problem trackmachinetoolandOtherfields．Anovel modelis measuringguide of system presentedthroughadopting ofthelaser andlaserinterference．whichisbasedonthe laserbeamdata．The techniques alignment single in thatthe modeland are detail．Theresultsshow parametersanalyzedtheoretically system measuring the androll)islessthan0．2”andtheresolutionofthelinear isbetter of angleerrors(yaw，pitch displacements than0．3um．Thewhole ischaracterizedof structureand