基于神经网络方法的半导体生产并工艺优化.docVIP

基于神经网络方法的半导体生产工艺优化 摘要　以提高生产成品率为目标,利用神经网络的非线性和容错性,对半导体芯片生产过程进行了分析和优化,具体内容如下: ( 1)使用神经网络方法建立模型,确定生产线上工艺参数和成品率之间的映射关系,构造以工艺参数为输入,成品率为输出的多维函数曲面. ( 2)对上述多维函数曲面进行搜索,搜索成品率最高的最优点,以该最优点的工艺参数值为依据确定工艺参数的规范值. ( 3)对工艺参数规范进行优化,在实际生产工艺中反复实践,直至达到提高成品率的目的.生产实践证明,神经网络的分析结果是合理的.根据神经网络分析提出的优化建议,有效地提高了工序能力指数和产品成品率的一致性,具有实际应用价值. 关键词: 半导体生产, 工艺优化, 神经网络 Neural Network-Based Optimization of VLSI Wafer Fabrication Abstract　A neural-based manufacturing process control system for semiconductor factories is presented.Wafer fabrication is a dynamic, nonlinear , multivariable and complex industrial process. A model based on