神奇的微纳米世界（改）后巷镇副镇长张鉴博士.pptVIP

张 鉴 合肥工业大学 电子科学与应用物理学院 Email：jzhangseu@ 微电子学 MEMS技术 基因工程 纳米材料应用 …… 1毫米 1000 1毫米 1000 一. 微电子学的发展历史 二. 微电子学的发展历史 1904年，世界上第一只电子管在英国物理学家弗莱明的手下诞生了。 1969年，法庭判决基尔比和诺伊斯为集成电路的共同发明人，集成电路的专利权属于基尔比，集成电路内部连接技术的专利属于诺伊斯 三. 当今的集成电路 小规模集成电路SSI 中规模集成电路MSI 大规模集成电路LSI 超大规模集成电路VLSI 特大规模集成电路ULSI 线宽从4微米发展到28纳米，单芯片集成110万个器件，同样面积的芯片功能更加强大。 四. 什么是MEMS? Micro-Electro-Mechanical Systems 在我们国家，目前主要翻译成微电子机械系统。 除了微电子电路芯片，MEMS还包含传感器和执行器 五. MEMS研究发展史 1987年，美国UC Berkeley大学发明了微马达，引起国际学术界的轰动，人们看到了电路与执行部件集成制作的可能性，这是MEMS技术的开端。 五. MEMS研究发展史 1988年，美国的一批著名科学家提出“小机器、大机遇”，并呼吁：美国应当在这一重大领域发展中走在世界的前列。 1993年，美国ADI公司的微型加速度计