离子束溅射制备CuInSe2薄膜的研究.PDFVIP

第 29 卷 　第 6 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　学 　报 　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 2009 年 11 、12 月 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 659 　 离子束溅射制备 CuInSe2 薄膜的研究 范 　平 　郑壮豪 　张东平 　梁广兴 　蔡兴民　汝丽丽 　李红奕 (深圳大学物理科学与技术学院 ,薄膜物理与应用研究所 　深圳 　518060) Growth of CuInSe2 Fil ms by Ion Bea m Sputtering Fan Ping ,Zheng Zhuanghao ,Zhang Dongping ,Liang Guangxing ,Cai Xingmin ,Ru