LBIC技术研究平面结及台面结InGaAs探测器.pdfVIP

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2017-10-27 发布于湖北
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LBIC技术研究平面结及台面结InGaAs探测器.pdf

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第36卷，增刊红外与激光工程 2007年6月、，01．36 Infj-aredandI。aser Jun．2007 Supplement Enginee血g LBIC技术研究平面结与台面结InGaAs探测器张可锋1．一，吴小利L2，唐恒敬1，一，吕衍秋L2，乔辉1，贾嘉1，李雪1，龚海梅1 (1．中国科学院上海技术物理研究所传感技术国家重点实验室，上海200083； 2．中国科学院研究生院，北京100039) 焦平面列阵中探测器的尺寸正不断减小，这使得常规工艺形成的光伏探测器的有效光敏元面积扩大探测器芯片的光敏元，证实了有效光敏面扩大的存在。从实验结果看，结区的侧向收集效应是造成台面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素；而掺杂离子的横向扩散和结区的侧向收集效应，是平面工艺形成的光伏器件光敏元面积扩大的主要因素。关键词：LBIC技术；hlGaAs；探测器；光敏感区中图分类号：TN2l 文献标识码：A I，hotoactiVeareaof andmesaInGaAslinear planar detectorLBIC by technique ZHANG Xiao—n1”，TANG Ke．fen91’_，wU Heng-jin91一，LV1Y；m．qiul’_， Huil，JIAJial，U Hai．meil QL～O Xuel，GoNG I InstittIteoflkhIlical of (1．State Scien∞s。sh觚ghai2∞∞3， Keyab0幡lori髓0fTr卸sduccr慨hllology，sh如gllaiPlIysics，cIlineseAcademy SchoolofⅡ1eChinese of Chi】嗯；2．G憎dua士c AcadcmySci饥ccs，B蜘ing100039，a血a) Abstr挑t：Short atroom Infhred(SW琅)focal temperan鹏 waVelengnl plaIlearrays(FI狻s)woddng 龇．e usedmorea11dmorein and diIllensionsofdetectorsinIIlGaAsFPAs rnihtaryaerospaceindustry-The haVe ofme areain beenreduced．The increaseofmee虢ctiVe gradually pmblem photoactiVephotoV01taic detectorsconventional becomemoreobvious．PlaJlarandmesa