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第 43 卷 第 10 期 天 津 大 学 学 报 Vol.43 No.10
2010 年 10 月 Journal of Tianjin University Oct. 2010
▋
LSAWs 技术检测超薄 low-k 材料机械特性的
匹配算法
肖 夏，刘亚亮，付绍晨，单兴锰
(天津大学电子信息工程学院，天津 300072)
摘 要 ：激光激发超声表面波法 (LSAWs)是一种无损检测技术，其理论依据为表面波在分层材料中传播时发生频
散．在检测超薄 low-k 薄膜材料机械特性时，LSAWs 方法在准确性、快速等方面比传统的纳米压痕法具有明显优
势．对大量的实验数据进行了细致分析，得到了频率低于 200 MHz 的表面波频散曲线的特殊规律，并在此基础上建立
了一种基于二分法的快速查找算法，实现了理论与实验频散曲线的快速匹配．超声表面波技术对超薄 low-k 膜层材料
的弹性模量进行在线检测时，采用快速匹配算法可以显著提高检测速度．
关键词 ：超声表面波；无损检测；快速匹配算法；超薄膜层材料；机械特性
中图分类号：TB57 文献标志码 ：A 文章编号 ：0493-2137 (2010)10-0849-05
Fast Matching Algorithm of Mechanical Property Determination for
Ultra-Thin Low-k Film by LSAWs
XIAO Xia ，LIU Ya-liang ，FU Shao-chen ，SHAN Xing-meng
(School of Electronic and Information Engineering ，Tianjin University ，Tianjin 300072 ，China)
Abstract ：Laser-generated surface acoustic waves (LSAWs)method is a nondestructive detection technology ，which
is based on the dispersion property of LSAWs during the waves propagating in the layered structure materials. Com-
pared with traditional nano-indentation method ，LSAWs approach is accurate and fast ，especially very suitable to
determine the mechanical properties of fragile ultra-thin low dielectric (low-k)film. A particular feature on the SAWs
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