二氧化碳激光泵浦太赫兹激光器.ppt

CO2激光泵浦的太赫兹激光器 田晓光 2009.6.25 系统原理简介 FIR激光器示意图 CO2激光器 输出波长范围9-11um 输出模式：90%以上的TEM00，垂直偏振 光斑直径：7.5mm 结构： 输出窗口：ZnSe材料的平凹透镜，附着在压电陶瓷上 选支光栅：镀金的闪耀光栅 电源：LPS电源，0-30mA连续电流 FIR腔 泵浦光束耦合进入FIR腔 透镜： ZnSe平凸透镜，f=40cm ZnSe布儒斯特窗口片，水冷 小孔输入窗：镀金不锈钢盘面，中心Φ2mm小孔 输出耦合结构 介质薄膜 石英 内孔口径 11mm银环 介质薄膜反射二氧化碳激光，石英对太赫兹辐射具有较好的透射率，银环用来作为反射镜 太赫兹激光器操作 FIR腔的排空 一、为什么要排空FIR腔 1、FIR腔内填充的是纯度很高的，气压很低的工作气体，对于首次使用，或是长时间放置，以及改变工作气体种类的情况，腔内主要成分是空气，必须先排除干净。 2、对于经常使用同一种气体的情况，太赫兹输出也会出现性能下降的情况，有可能是密闭不严，空气进入腔体引起，或是输出无法最大化，由于腔内未达到最佳气压，解决办法都是重新排空。 二、为什么要先操作这一步 通常FIR腔的排空需要用到两级气体泵，第一级是机械泵（backing pump），第二级涡轮分子泵（Turbo pump） 其启动气压低于10-2mBar，对于1中的情况，要抽到10-5mBar以下，这一过程通常需要十几个小时。对于2中的情况，需抽到10-3mBar以下，这个过程通常也需要几个小时的时间。 当需要对太赫兹激光器FIR腔抽气时，需要提前进行 打开机械泵与分子泵的电源，液晶面板点亮并显示当前泵口气压值，通过控制面板上按钮，打开机械泵，并依次开启阀门5，6，7，锁销。 当显示气压低于10-2mBar时，开启turbo pump，通过液晶面板可以监控两个泵的工作状态 启动CO2激光 气先，水次，后加电 开2 开3 开1 阀门正确开启顺序为： 开泵--开阀门2（气压表回0）--开阀门3 （气压表回0）--开阀门1--开阀门4（慢开，至气压表指向15停止） 开水冷系统，温度设定15度 开启ALS电源，斩波器电源，设定斩波频率150HZ 二氧化碳激光器的控制有两种方式： 当机身面板上的EXT接口与ALS相连时，PZT由ALS上的PZT旋钮调节，激光器机身上的黑色PZT旋钮失效 当机身面板上EXT接口与机身上INT接口直接相连时，PZT由机身上的黑色PZT旋钮控制 打开激光器输出口的盖子，将电源钥匙打到ON位置，这时电源面板上INTERLOCK显示灯，HV OFF灯应该亮起，等待几秒钟后，READY灯亮，按下HV ON按钮，二氧化碳输出激光。 注意：如果INTERLOCK显示灯不亮的话，查看ALS电源是否开启，水冷系统是否开启，激光器机身上的INT,EXT接口连线是否正确。 此步操作需特别留意是否保证激光输出处于安全状态下 二氧化碳激光器与FIR激光参数对应表 工作气体 输出波长 泵浦支 FIR输出 （mW） 光栅读数 CO2激光器波长 电流 （mA） 气压 （mB） CO2激光输出功率（W） CH3OH 67.5 9R18 10 97671 9.282 30 30 50 CH3OH 70.6 9P34 20 97855 9.676 30 30 42 CH3OH 86.2 9R 8 10 97697 9.341 20 30 42 CH3OH 96.5 9R10 90 97690 9.329 20 30 46 CH3OH 118.8 9P36 150 97866 9.695 25 30 40 CH3OH 163 10R38 36 97076 10.147 30 30 29 CD3OD 184 10R24 30 98108 10.220 30 30 47 CD3OD 255 10R36 5 97076 10.147 30 30 29 HCOOH 393.6 9R18 40 97671 9.282 30 30 50 HCOOH 418.6 9R22 30 97662 9.261 30 30 50 HCOOH 432.6 9R20 40 97667 9.271 30 30 50 HCOOH 513 9R28 20 97648 9.230 30 30 41 二氧化碳激光器的调节 确定需要的FIR输出波长，按照参数表选择对应的二氧化碳激光器的工作参数 调节选支光栅选择波长，设定电源电流，利用阀门4设定好相应的工作气压（在任何情况下，此工作气压不能超过35mB） 在二氧化碳激光器输出口前，加入功率计，旋转PZT旋钮，使激光输出达到最大值，对比参数表中数据，如果出现明显的输出性能下降，常见原因