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学习单元二.工程机械用压力传感器 在测量上所称的压力就是物理学中的压强，它是反映物质状态的一个参数；在工业自动化生产过程中是重要工艺参数之一。 本学习单元简单介绍压力的概念及单位，重点讲解应变式压力计、压电式压力传感器和霍尔式压力计等的测量原理及测压方法。 2.1 压力的概念及单位 1、压力的概念: 压力是垂直而均匀地作用在单位面积上的力。大小由受力面积和垂直作用力的大小两个因素决定。表达式为： 2、 压力的单位 （1）工程大气压 （2）标准大气压 （3）约定毫米汞柱 （4）约定毫米水柱 2.2 应变式压力计 2.2.1 电阻应变效应 电阻丝在外力作用下发生机械形变时，其电阻值发生变化，称为电阻应变效应。 设有一根长度为L，截面积为S，电阻率为ρ的电阻丝，未受力时的电阻值为： 受力后： 2.2 应变式压力计 令电阻丝的轴向应变为 ε=△l/l，径向应变为△r/r，由材料力学可知△r/r = -μ(△l/l) =-με，μ为电阻丝材料的泊松系数，经整理可得 令 2.2 应变式压力计 2.2.2 电阻应变片 1、金属电阻应变片 金属电阻应变片分为金属丝式和箔式，图所示为金属丝式和金属箔式电阻应变片。 常用的电阻应变丝的材料是康铜丝和镍铬合丝，用薄纸作为基底的应变片称为纸基应变片；用有机聚合物作为基底的应变片称为胶基应变片。 2.2 应变式压力计 电阻应变片 2.2 应变式压力计 2、半导体应变片 半导体受力时，电阻率发生变化，电阻率随应力变化的关系称为半导体压阻效应。半导体应变片电阻 的变化主要是电阻率变化引起的，表示为 由于弹性系数E=σ/ε， 上式又可写为 为提高灵敏度半导体应变片还有制成栅形的。 2.2 应变式压力计 2.2.4 转换电路 当 RL=∞时，电桥输出电压为： Uo =0时，有 2.2 应变式压力计 单臂电桥输出电压和电压灵敏度为 双臂电桥电路，一般接成差动电桥。其输出电压 为 电桥四臂同时接入工作应变片，则构成全桥电路。 其输出电压为 2.2 应变式压力计 2.2 应变式压力计 2.2.5 应变式压力传感器 1、膜式应变传感器 图是一种简单的平膜压力传感器，应变片贴在膜片的内表面。膜片感受压力时产生应变，使应变片有一定的电阻输出。 2.2 应变式压力计 2、测力式应变传感器 右图为一种带水冷的测力计式压力传感器。 3、扩散硅型压力传感器 图(a)是一个杯型组合式测量元件 图(b)是膜片一个截面示意图 .2.3 压电式压力传感器 2.3.1 压电效应 某些电介质物体在某方向受压力或拉力作用产生形变时，表面会产生电荷。外力撤消后，又回到不带电状态。这种现象称为压电效应。具有压电效应的物体称为压电材料，如天然的石英晶体，人造压电陶瓷等。 1、石英晶体的压电效应 图为天然结构的石英晶体外形和石英晶体切片 2.3 压电式压力传感器 当切片在沿X轴的方向上受到压力Fx作用时，晶体切片将产生厚度变形，并在与X轴垂直的平面上产生电荷Qx，它的大小为： 2.3 压电式压力传感器 电荷的极性见图 2.3 压电式压力传感器 2、压电效应的物理解释 如图所示。 2.3 压电式压力传感器 2.3.2 压电材料 1、压电晶体 （1）石英晶体： 石英晶体即二氧化硅（SiO2），有天然的和人工培育的 两种。压电系数d11=2.31×10-12C/N，在几百摄氏度的温度 范围内，压电系数几乎不随温度而变。到575℃时，它完全 失去了压电性质，这就是它的居里点。石英的熔点为 1750℃，密度为2.65×103kg/m3，有很大的机械强度和稳 定的机械性质，可承受高达6.8×107～9.8×107Pa的应 力，在冲击力作用下漂移较小。 2.3 压电式压力传感器 （2）水溶性压电晶体： 最早发现的是酒石酸钾钠（NaKC4H4O6.4H2O）， 它有很大的压电灵敏度和高的介电常数，压电系数 d11=3×10-9C/N。但是酒石酸钾钠易于受潮，它的机械 强度低，电阻率也低，因此，只限于在室温（＜45℃） 和湿度低的环境下应用。 （3）铌酸锂晶体： 人工提拉法制成了铌酸锂的大晶块，稳定性远比多晶体