碳基非晶镀层的纳米晶诱发机理及其摩擦学性能研究-金属学报.PDF

第53 卷 第7 期 Vol.53 No.7 2017 年7 月 ACTA METALLURGICA SINICA Jul. 2017 碳基非晶镀层的纳米晶诱发机理及其 摩擦学性能研究 董 丹 蒋百灵 郭 萌 杨 超 (西安理工大学材料科学与工程学院西安 710048) 摘 要 采用磁控溅射离子镀技术制备了一组不同Cr 含量的碳基离子镀层，利用XRD 、SEM、TEM 、XPS 及 Raman 光谱对镀层的微观结构进行了表征，并分析了微观结构对镀层的力学性能及摩擦学性能的影响。实验 2 结果表明：随着Cr 含量的增加，碳基镀层从典型的非晶结构转变为纳米晶/非晶复合结构，sp 杂化键含量逐渐 3 增加，sp 杂化键含量逐渐减少，并且碳基镀层的硬度和内应力均随着Cr 含量的增加而呈现减小的趋势。微量 2 的金属Cr 掺杂可有效地降低镀层的摩擦系数和比磨损率。过量的Cr 掺杂虽有利于sp 杂化键含量的提高，但 金属相的弥散分布导致了碳基镀层摩擦系数和比磨损率的增大，摩擦学性能变差。 关键词 碳基镀层，Cr 含量，微观结构，摩擦学性能 中图分类号 TB43 文章编号 0412-1961(2017)07-0879-09 Study on Nano-Crystallization Mechanism and Tribological Performance of Amorphous Carbon-Based Coatings DONG Dan, JIANG Bailing, GUO Meng, YANG Chao School of Materials Science and Engineering, Xian University of Technology, Xian 710048, China Correspondent: JIANG Bailing, professor, Tel: (029 E-mail: jiangbail@ Supported by National Natural Science Foundation of China (No Manuscript received 2016-10-05，in revised form 2017-03-20 ABSTRACT Amorphous carbon coatings mainly composed of sp3 and sp2 bonds have a great potential to be widely used in modern industry for their attractive properties, such as high hardness, high wear re- sistance and low friction coefficient. However, t