现代材料分析方法TEM.pptVIP

5.2 成像原理 5.2.1 非晶样品质厚衬度成像原理 设电子束射到一个原子量为M、原子序数为Z、密度为ρ和厚度为t的样品上 ρt ----质量厚度衬度 (简称质厚衬度) 原子核对入射电子的散射是弹性散射，而核外电子对入射电子的散射是非弹性散射 5.2.2 薄晶体样品的衍衬成像原理 晶粒A与入射束不成布拉格角，不产生衍射，透射束强度IA=I0 晶粒B与入射束满足布拉格衍射，衍射束强度为Ihkl，透射束强度IB=I0-Ihkl 如果让透射束通过物镜光阑，挡住衍射束，A晶粒比B晶粒亮(明场象)。 如果让hkl衍射束通过物镜光阑，挡住透射束，B晶粒比A晶粒亮（暗场像） 暗场像 明场像 成像操作 成像操作光路图 （a）明场像 (b)暗场像 (c)中心暗场像 补充: 5.3 衍衬像分析 5.3.1 电子衍射 与 理论 动力学 运动学 随电子波深入样品,衍射束与入射束有能量交换 随电子波深入样品,衍射束与入射束无能量交换 客观、准确--繁琐、抽象 主观、近似--简单、实用 t 小、S 大 ！ 透射束与衍射束无相互作用（偏离矢量s越大，厚度t越小，这假设就越成立）。 电子束在晶体内部多次反射及吸收可忽略不计（当试样很薄，电子速度很快时，假设成立）。 运动学理论是讨论晶体激发产生的衍射波强度的简单方法，其主要特点是不考虑入射波与衍射波之间的动力学相互作用。 从入射电子受到样品内原子散射过程的分析中我们知道，此种散射作用在本质上是非常强烈的，所以忽略了动力学相互作用的运动学理论只能是一种相当近似的理论。 运动学理论所包含的基本近似是： 1）入射电子在样品内只可能受到不多于一次的散射； 2）入射电子波在样品内传播的过程中，强度的衰减可以忽略，这意味着衍射波的强度与透射波相比始终是很小的。 结合晶体薄膜样品的透射电子显微分析的具体情况，我们可以通过以下两条途径近似地满足运动学理论基本假设所要求的实验条件： （1）采用足够薄的样品，使入射电子受到多次散射的机会减少到可以忽略的程度。同时由于参与散射作用的原子不多，衍射波强度也较弱； （2）或者让衍射晶面处于足够偏离布喇格条件的位向，即存在较大的偏离参量S，此时衍射波强度较弱。正是由于我们采用较薄的样品，由非弹性散射引起吸收效应一般也不必在运动学理论中加以认真的考虑。 5.3.2 衍衬运动学基础 5.3.2.1 影响衍射强度的因素 5.3.2.2 理想晶体的衍射强度 思路：Ig～︱F︱2 方法：2个近似 结果： t、S、缺陷 双束近似：当电子通过薄晶体时，除透射束外只存在一束较强的衍射束（其他衍射束大大偏离布拉格条件，强度为零）该衍射束不精确满足布拉格条件（存在偏离矢量S）。作双束近似的目的：使衍射束强度比入射束小很多，以便二者的交互作用可被忽略；透射束强度和衍射束强度互补 I0=IT＋Ig 。 柱体近似：将成像单元缩小到一个晶胞的尺度。每个晶胞作为一个像点，将每个像点的衬度结果连接成像，可以得到组织缺陷形貌。 ? 一个晶胞宽 ?＝tsin?B t 2个近似 5.3.3 简单衍衬像分析 当操作反射的偏离参量s恒定时,衍射强度将随样品的厚度t发生周期性的震荡，其深度或厚度周期为 tg=1/s 当试样厚度t恒定时,衍射强度也将发生周期性震荡：震荡周期为 sg=1/t 等厚条纹和等倾条纹 当衍射条件固定，由t变化引起衍射强度变化。当t=n/s(n为整数)，ID=0。这称为等厚消光，相应地衍衬像称为等厚消光轮廓线。 Ig 1/sg 当厚度t不变化时，s=n/t (n为整数)，I=0。这称为等倾消光，相应的衍衬象称为等倾消光轮廓线。 3.3.2 倒易点阵的几何分析 建立方法: 以O*为原点,作三个矢量分别垂直正点阵(100)、（010）、（001）面; 三个矢量大小分别=1/d100 1/d010 1/d001 三个矢量为基矢 倒易点阵单胞 无限平移 倒易点阵 用a*、b*、c*、表示三个基矢。凡带*的表示倒易空间的量 3.3.3 倒易点阵举例 (简单立方/倒易点阵的几个特点） [100]* [001]* [010]* b a c 100 010 001 111 211 210 201 101 110 200 011 021 121 020 120 220 022 倒易点阵用(uvw)*表示 (001)*倒易面:O*/100/110/010 通过倒易原点O* 的为零层面 如（001）0* 、 （100）0* 又有1层面、2层面 如（100）1* 、 （100）2*