传感器的原理与应用__力学传感器__金属应变式__物理原理.pptVIP

传感器原理与应用 基本要求： 掌握金属应变式传感器、压阻式传感器和压电式传感器的结构； 通过对电阻应变片的测量和电路分析，掌握惠斯登电桥电路的结构形式及特点； 了解力学传感器的应用。 力学传感器 主要用来测力，压力，位移，应变，速度，加速度，温度，湿度等。 按照构成传感器的敏感元件的材料的不同，分为： 金属应变式传感器 压阻式传感器 压电式传感器 传感器原理与应用力学传感器 Part.1 原理 §1.金属应变式传感器 物理原理 金属应变式传感器是根据电阻应变效应的原理，将测量物体的变形转换成电阻的变化。 1856年W. Thomson发现：导体或半导体材料在外力作用下会产生机械形变，其电阻值也发生相应改变，这种现象称为电阻应变效应。 1.1 电阻应变效应 长度为l，截面积为S，电阻率为ρ的金属或半导体丝，其电阻为： 设电阻丝为圆形截面，半径为r，有 带入得到： 又由于： 金属丝的灵敏系数k0主要受两个因素影响： 受力后的几何尺寸的变化，金属导体以此为主： 受力后材料的电阻率随应变所引起的变化，半导体以此为主。 半导体应变片的灵敏度比金属导体的灵敏度系数值大几十倍。 对金属来讲，πE很小，可忽略不计， 泊松系数μ=0.25~0.5之间（钢μ=0.285）。 相应的，K0=1.5~2. 对半导体而言，πE比（1+2μ）大得多，一般情况下πE=50~200。故（1+2μ）可以忽略不计。 1.2 应变片结构原理 电阻应变式传感器的核心元件是电阻应变计，也称为应变计或应变片。 应变片是一种能将机械构件上的应变的变化转换为电阻变化的传感元件。 应变片的主要结构 常用敏感栅材料的主要性能 1.3 应变片的主要特性 应变片是一种重要的敏感元件， 它是应变和应力测量的主要传感器。 其他诸如膜片式压力传感器、加速度计、线位移传感器等，也经常使用应变片作为基点转换元件或敏感元件。 ※ 应变片的灵敏系数 金属电阻丝的电阻相对变化与它所感受的应变之间具有线性关系。（灵敏度系数k0） 金属丝做成应变片后，电阻特性与单根金属丝将有所不同，必须重新用实验来测定。 实验方法 实验是按照规定的统一标准进行的。 受一维力（单向的拉力或压力） 试件（被测体）的材料为泊松系数0.285的钢 因为应变计被粘贴到试件上后，不能取下再用，因此只能每批产品提取一定百分比（一般为5%）进行测定，取平均值作为这批产品的灵敏度系数，或称“标称灵敏度系数” 实验证明： 电阻应变计的电阻相对变化ΔR/R与应变ε =Δl/l 之间在很大范围内实现性的。 产品应变片的灵敏度系数k恒小于电阻丝的灵敏度系数k0。 如果实际应用条件和标定条件不同，使用时误差会很大，必须修正。 ※ 横向效应 其敏感栅是由多条直线和圆弧部分组成。 横向灵敏度 横向效应的大小常用横向灵敏度的百分数表示： 减小横向效应 为了减小横向效应，可采用直角线栅式应变计或箔式应变计。 ※ 应变片的动态特性 电阻应变片在测量变化频率较高的动态应变时，应考虑其动态响应特性。 在动态测量时，应变是以应变波的形式在材料中传播，它的传播速度与声波相同。 应力波从试件通过胶层、基片传递到敏感栅需要一定时间（一般可以忽略）。 沿应变计长度方向经过敏感栅需要更长的时间（应该加以考虑）。 敏感栅电阻的变化是对某一瞬时所用于其上的应力的平均值的反应 设应变的变化为: 应变在试件中轴向(沿栅轴方向)传播，有: 基长L内测得平均应变的最大值εp 得到最大值的积分段： 应变波幅的相对误差 应变波幅的相对误差： 阶跃应变波通过敏感栅 可测频率： ※ 其他特性参数 线性度： 试件的应变ε和电阻的相对变化ΔR/R，在理论上呈线性关系。 实际上，在大应变时，会出现非线性关系。 应变计的非线性度一般要求在0.05%或1%以内。 应变极限 粘贴在试件上的应变计所能测量的最大应变值称为应变极限。 当应变计的指示应变值对真实应变值的相对误差大于10%时，认为达到破会状态，此时的真实应变值就作为该批应变计的应变极限。 机械滞后 在温度恒定的条件下，应变片粘贴在试件上进行加载和卸载，对同一机械应变量，应变片卸载时的指示应变高于加载时的指示应变，这种现象称为应变片的机械滞后。 其最大差值为应变片的机械滞后值。 零漂和蠕变 粘贴在试件上的应变片，在温度保持恒定、不承受机械应变时，其电阻值随时间而变化的特性，称为应变片的零漂。 如果在一定温度下，使其承受恒定的机械应变，其电阻值随时间而变化的特性，称为应变片的蠕变。一般蠕变的方向与原应变量变化的方向相反。 这两项指标都是用来衡量应变片特性对时间的稳定性，在长时间测量中其意义更为突出。 蠕变中已包含零漂，因为零漂是不承受载荷条件下的蠕变。 应变片在制造过程中所产生的内应力、丝材、粘合剂、基底等的变化是造成应