化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究.pdfVIP

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2017-11-04 发布于天津
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化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究.pdf

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化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究

化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究———谭援强张浩李明军暋暋暋化学机械抛光中磨粒运动特性离散元仿真研究谭援强张浩李明军暋暋暋 , , 湘潭大学湘潭 411105 : , 摘要基于耦合计算流体力学和计算散体力学的方法利用PFC3D软件模拟了复合磨粒抛光液化 ( ) 。学机械抛光中抛光液固液两相流的流动行为通过个数值实验并将其与他人实验数据进行 CMP 2 , 。 , 对比验证了利用PFC3D软件模拟纳米两相流问题的可行性对 CMP过程进行了数值模拟解释了一些实验中观测到的现象。 : ; ; ; ; 关键词离散元法化学机械抛光磨粒流数值模拟复合磨粒中图分类号: 文章编号: — ( ) — — TH16暋暋暋 1004 132X201105 0597 07 Modelin andSimulationofAbrasiveFlowinChemical g MechanicalPolishin Usin DiscreteElementMethod g g TanYuanian暋Zhan Hao暋LiMin un q g g gj , , , XiantanUniversit XiantanHunan411105 g y g : AbstractAccordin tocoulin com utationalfluiddnamicsandcom utationalranularmedia g p g p y p g , mechanicsmethod themotionofabrasiveflowinCMPwithcom osite articleswassimulatedusin p p g , discreteelementmethod.WithPFC3Dsoftware atwo- haseflowmodelthat redictedthekine p p 灢 , maticsandtraector oftheabrasive articleswasbuilthereintwoverificationsimulationswerecon j