利用硅波导实现全混洗变换的新方法-光子学报.pdfVIP

光 子 学 报 第 卷 增刊 ４３ 　 　 　 　 Ｖｏｌ．４３Ｓｕ．１ ｐ 　　　　　　　　　　　　 年 月 ２０１４ ７ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｊｕｌ２０１４ ｙ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘｂ２０１４４３ｓ１．０１１３００１ ｇ 利用硅波导实现全混洗变换的新方法 张华良，张颂，钱克昌，张文明，徐欢 （西北核技术研究所，乌鲁木齐 ８４１７００） 摘 要：全混洗变换在光互连中具有重要的作用 本文提出并实现了一种新的全混洗变换实现方法——— ． 　 硅波导实现全混洗变化 分析了全混洗变化的基本理论及其特点；利用软件 仿真并分析了 ． Ｏ ｔｉＦＤＴＤ ｐ 和 的 变换结构；根据仿真结果，利用感应耦合等离子体刻蚀等工艺对 基片进行加工， ４×４ ８×８ ＰＳ ＳＯＩ 制作了基于硅基的片上全混洗变换结构 结果显示，该结构的传输效率在 以上，而且此结构的串扰 ． ８０％ 在 左右，该结构具有传输效率高，插入损耗和串扰较低等特点，并且在结构上具有体积小、结构简 １％ 单、易于集成等优点，将在未来的光学集成及光学计算机中发挥重要作用． 关键词：集成光学；全混洗变换；光互连；硅波导； 基片 ＳＯＩ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＮ２５６ Ａ １００４１０１１３００１５ 　　 　　 犃犖狅狏犲犾犕犲狋犺狅犱狋狅犐犿 犾犲犿犲狀狋犘犲狉犳犲犮狋犛犺狌犳犳犾犲 狆 犜狉犪狀狊犳狅狉犿犝狊犻狀 犛犻犾犻犮狅狀犠犪狏犲狌犻犱犲 犵 犵 ， ， ， ， ＺＨＡＮＧＨｕａｌｉａｎ ＺＨＡＮＧＳｏｎ ＱＩＡＮＫｅｃｈａｎ ＺＨＡＮＧＷｅｎｍｉｎ ＸＵＨｕａｎ ｇ ｇ ｇ ｇ （ ， ， ）