以伽玛射线照射法制造光波导元件.PDF

行政院國家科學委員會專題研究計畫 成果報告 以伽瑪射線照射法製造光波導元件(第 3年) 研究成果報告(完整版) 計 畫 類 別 ： 個別型 計 畫 編 號 ： NSC 97-2221-E-002-041-MY3 執 行 期 間 ：99年08月01日至 100年10月31日 執 行 單 位 ：國立臺灣大學電子工程學研究所 計 畫 主 持 人 ： 王維新 計畫參與人員： 此計畫無其他參與人員 報 告 附 件 ： 出席國際會議研究心得報告及發表論文 公 開 資 訊 ： 本計畫可公開查詢 中 華 民 國 101 年 04月 13 日 中 文 摘 要 ： 本計畫之目的是採用伽瑪射線在鈮酸鋰基板製造光波導及相 關元件。除蒐集資料、採購設備材料等工作外，第一年主要 工作是鈮酸鋰光波導的製作，並做光學量測，第二年主要工 作是波導特性分析和二次離子質譜儀量測，第三年主要工作 是方向耦合器、多模干涉耦合器、脊形鈮酸鋰馬赫任德干涉 器等光波導元件之製作與量測。 中文關鍵詞： 伽瑪射線、鈷、光波導、質子交換、濕式蝕刻、脊形、鈮酸 鋰、二次離子質譜 英 文 摘 要 ： The purpose of this project is to use gamma-ray irradiation for the increase of refractive index to become a waveguide rather than just study the radiation effect on the device performance. In particular, gamma-ray irradiated lithium substrates are used for making optical waveguides and devices. Details of the basic mechanism underlying the experimental results will be extensively studied. And the application for making novel optical devices based on these two kinds of common material will be investigated. 英文關鍵詞： Gamma ray, cobalt (Co), optical waveguide, proton exchange, wet etching, ridge structure, lithium niobate, secondary ion mass spectroscopy (SIMS) 行政院國家科學委員會補助專題研究計畫完整報告 以伽瑪射線照射法製造光波導 Fabrication of Optical Waveguide Devices by Gamma-Ray Irradiation 計畫類別：■ 個別型計畫