多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法!-物理学报.PDFVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 # %$$= ， ， ， M?, (# L? ( GNONP+ %$$= （ ） $$$7’%=$F%$$=F# $ F#02’7$3 GHAG DIJCKHG CKLKHG !%$$= H9@ ( D:P ( C?; ( 多光束激光外差高精度测量玻璃厚度的方法! ! 李彦超 章 亮 杨彦玲 高 龙 徐博 王春晖 （哈尔滨工业大学光电子技术研究所，可调谐激光技术国家级重点实验室，哈尔滨 #$$$） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$ ’$ %$$ % # 利用基于激光外差测量技术和激光多普勒技术的非接触式多光束激光外差测量方法，得到了光电探测器输出 电流的谐波表达式 讨论了该测量方法用于玻璃厚度超精密测量的可行性及理论依据，并利用 软件对不同 ( )*+,*- 情况进行了仿真实验( 结果表明：该方法在不同入射角时测量平板玻璃厚度最大的误差为$ .’/ ，明显比其他测量 方法精度高( 关键词：外差探测，多光束激光外差，激光多普勒技术，非接触式测量 ： ， ， ， !## 0%#1 $23$4 0%%#5 $3’$ 信号处理( 这种技术具有空间和时间分辨率高、精度 . 引 言 高、线性度好、动态响应快、测量范围大的优点( 一般情况下，外差测量厚度只采用双光束的激 目前平板玻璃的厚度测量仍然沿用传统的接触 光外差，其傅里叶变换（ ）的频谱是单峰的，即只 11A ［— ］ 式测量方法 $ ( 该方法主要存在采样困难、精度不 能测量单一的频率，虽然外差测量精度非常高，但还 高、耗费人力物力以及无法获知玻璃厚度变化情况 是会存在测量误差( 本文在此基础上提出了一种提 等缺点( 为此，各国正在发展非接触式光学测厚方 高外差厚度测量精度的方法，即多光束外差测量方 法，这种测量方法的最大优点在于既可应用在一些 法( 利用此方法可以在频域测量多个频率值，每个频 恶劣的环境，又可获得更高的测厚精度，是目前研究 率都包含厚度信息，解调后得到厚度值，通过加权平 的一个热点( 在光学测厚法中，激光外差技术备受关 均提高了测量的精度( 同时进行了仿真实验( ［ — ］ 注 ’ ，它具有测量速度快、精度高、抗干扰能力 强、重复性好等优点，已成为现代超精密检测及测量 % . 激光外差多普勒测量技术的理论 仪器的标志性技术之一，广泛应用于超精密测量、检 模型 测、加工设备、激光雷达系统等( 当激光束垂直照射到玻璃前后表面时，经前后 $ % % 激光外差多普勒测量玻璃厚度的基本原理及 表面反射的