碲酸盐玻璃飞秒激光刻写特性研究.pdfVIP

第29卷专辑工 武汉理工大学学报 V01．29 Suppl．I WUHAN 2007年5月 JOURNALOF UNIVERS¨阿OFTECHNOLOGY May．2007 碲酸盐玻璃飞秒激光刻写特性研究 钱奇，王琰，杨钢锋，张勤远，姜中宏 (特种功能材料及其制备新技术教育部重点实验室，华南理工大学光通信材料研究所，广州510641) 摘要：研究了800nrn红外飞秒激光作用下多组分碲酸盐玻璃损伤和激光刻写特性。实验测得碲酸盐玻璃的损伤阈 值为15／16心；通过扫描电镜和能谱成分分析研究了红外飞秒激光照射下碲酸盐玻璃形貌和成分变化特点。实验发现 在红外飞秒激光作用下玻璃结构和组成发生了改变，并在碲酸盐玻璃上成功刻写出波导结构。研究表明飞秒激光诱导 的结构和组成变化可能是导致碲酸盐玻璃折射率变化的原因。 关键词： 红外飞秒激光；碲酸盐玻璃； 阈值；波导 171 中图分类号：TQ 文献标志码：A PhotosensitiveResearchofTelluriteGlassInduced 800amFemtosecondLaser by Q／ANQi，WANGYah，YANG Qin-yuan，JIANG Gang-feng，ZHANG Zhong-hong (Instituteof Communication ofChina of Optical Materials，SouthUniversityTechnokgy，Guangzhou510641，China) Abstract：Characteristicsof800nmfemtosecondlaser telluriteWaS me8一 carvingmulticomponentalglass investigated．’rhe sured thresholdoftelluritewas15／16 induced laser femtoseeond werecharacter． dsmsge glass vJ．Theregion．s by subsequently electron clearstructuraland ized函ngscanning energy-dispersivespectrometry(EDS)．Thecomposi． microscopy(sEM)and tionlal wereobservedwithinthe the15／1 oflaser，wecarved intellu— changes regions．Andusing 6脚pulseenergy waveguides rite was thatthe structureand betherealsonsofrefractiveindex of glass．Itsuggestedchangesof西ass eompc8itionml‘ght change induced800Billferntosecondlaser． multicomponentaltellurite西assby words：infraredf印ntosecondla