溶胶一凝胶法制备复合薄膜的抗刻蚀能力研究-无机材料学报.PDFVIP

第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 , 年 月 , ’ 一 溶胶 凝胶法制备 一 复合薄膜 的抗 刻蚀 能力研 究 “ “ 翟继 卫 张 良莹 姚 熹 “ 同济 大 学功 能 材 料 研 究所 上 海 ” 西 安 交 通 大 学 电子 材 并研 究所 西 安 摘 要 采用 一 工艺制备 一 复合薄膜 , 研 究在 不 同温度下薄膜对 缓冲溶液 的刻 蚀 能力 薄膜经 热处理 的刻蚀速率是 热处理 的 倍 , 利 用这种差异 , 在薄 一 膜上用激光进行致 密化处理 , 从而形成所需 的 图形 由 和 光谱分析对造成这种刻 、 蚀 能力差异 的原 因进行 了解释 讨论 显微 光谱揭示 出薄膜经激光处理后 , 其致密化 区域具有不 同的晶化特征 说 明激光光束的能量分布对其扫描 区域 的析 晶分布有一定 的对应关 系 关 健 词 薄膜 , 结构 , 激光写入 , 化学腐蚀 , 微 区 刀 光谱 分 类 号 引言 溶胶 一 凝胶方法在 制备薄膜方面具有其 独特 的优 势 , 与其它 方法相 比具有 化 学计 量 比 易控 工艺温度较低 成膜 面积大 设 备简单等特 点 根据 一 工 艺 的特 点 , 此 方法所制备 的薄膜具有 多孔性 , 其孔率 随热 处理温度 的升 高而 减 小 孔率 的减 小则 意 味着折射率 的增 大 , 即通 常所说 的 关系 因而 使得致 密 化部分与周 围非 致 密化 部分 的折射 率产 生 一定 的差 异 , 这种差异 的大小 与其致 密化 区域 的 膜厚决定 了波 导传播模式 的多少 利 用 它 的这个 特 点, 并借助 于 光刻 技术及 激光 致 密化 的 方法 【, , 可 以在 薄膜上 很 容 易地 获 取所 需 的 图形 在薄膜上 形 成 图形 的方法 可分为 干 法 刻蚀和 湿法刻 蚀 这 两种方法 都要 在 薄膜上 预先光刻 出 图形 , 然 后 采用 等离子刻 蚀 或化 学 刻蚀 的方法 刻蚀 掉 没 有掩膜掩 盖 的部分 , 而 留下掩 盖 的 图形 即是所 需要 的 图形 在 集成光 学 中最基本 的单元就 是条形 波 导 , 其 主要 作 用 就是将各元 件联 系在 一起