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激光预处理对BaF2薄膜损伤性能的影响-表面技术
邹逢等 激光预处理对 薄膜损伤性能的影响
暋 BaF
暋暋暋暋4 2
激光预处理对BaF 薄膜损伤性能的影响
2
, , ,
邹逢 徐均琪 苏俊宏 马健波
( , )
西安工业大学 光电学院 西安 710032
[ ] , ,
摘 要 为了提高光学薄膜元件抗激光损伤的能力 除了寻找先进的镀膜方法及工艺外 还可采取后期处
暋暋 暋 暋
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理 因为后期处理对激光损伤阈值 LIDT也有重要影响 采用输出波长为1064nm的调QNdYAG激光器 对
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膜厚为毸2毸=1064nm 的单层 BaF 薄膜进行激光预处理 研究了其激光损伤特性 在光斑大小一定的条件
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下 改变能量密度和脉冲次数 分别研究了它们对薄膜阈值的影响 得出最佳处理参数 能量密度为9.9Jcm 脉
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。 , / / 。
冲次数为 次 处理后的 薄膜 激光损伤阈值从未处理的 提高到了
3 BaF 16.5Jcm 29.9Jcm
2
[ ] ; ; ;
关键词 激光预处理 薄膜 激光损伤阈值
暋 BaF
2
[中图分类号] ; [文献标识码] [文章编号] ( )
TG156.99 O484暋 暋 暋 A暋 暋 暋 1001灢3660201205灢0004灢03
InfluenceofLaser灢conditioning
onLaserInducedDamaeCaabilitofBaFThinFilms
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ZOUFen XUJun灢i SUJun灢hon MAJian灢bo
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